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產(chǎn)品簡介
真空擴散爐燒結(jié)系統(tǒng)
真空擴散爐燒結(jié)系統(tǒng)
產(chǎn)品價格:¥110000
上架日期:2011-04-29 10:31:31
產(chǎn)地:青島
發(fā)貨地:青島
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1套
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詳細說明
    ·描述
    --------------------------------------------------------------------------------
    該系統(tǒng)是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要設(shè)備。
    1、系統(tǒng)組成:a)擴散爐主機  b)推拉舟及層流凈化臺  c)氣源柜  d)排毒柜  e)微機控制柜2、擴散爐管數(shù):1~4管/臺
    3、爐管內(nèi)徑:φ90㎜×240mm
    4、恒溫區(qū)長度:≤600mm±1℃(300~800℃)  ≤600mm±0.5℃(800~1250℃)
    5、單點穩(wěn)定性:±1℃/24h(300~800℃)    ±0.5℃/24h(800~1250℃)
    6、氣源路數(shù):≤6路
    7、氣源控制:MFC或浮子流量計
    8、推拉舟行程:最大1500mm
    9、推拉舟速度范圍及精度:(1~1000)± 3mm/min
    10、推拉舟位置控制精度:≤3mm
    11、冷卻方式:水冷+風(fēng)冷
    12、微控部分采用STD總線功能模板
       a)主CPU板:8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件
       b)信號調(diào)理板:完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉(zhuǎn)換
       c)人機界面板:接收鍵入信息管理,并配置9”液晶顯示
     d)推拉舟接口板:輸出推拉舟速度值,完成舟位置檢測,輸出推拉舟的運動指令
    e)MFC接口板:輸出MFC設(shè)定值,將MFC的流量信息采入計算機
      f)可控硅控制及形狀量輸出板:完成與可控硅觸發(fā)及開關(guān)量放大驅(qū)動器接口等功能
    g)鍵盤:采用標(biāo)準鍵盤或?qū)S眯℃I盤h)電源板(非STD總線板)i)可控硅觸發(fā)板:完成可控硅的過零觸發(fā)或移相觸發(fā)驅(qū)動(非STD總線板) j)開關(guān)量驅(qū)動板:完成由STD總線板的數(shù)字信號(TTL電平)的轉(zhuǎn)換、放大,用于驅(qū)動氣路閥(非總線板) k)推拉舟驅(qū)動部分:接收總線板輸出的推拉舟速狀態(tài)指令,并將位置轉(zhuǎn)換成標(biāo)準信號輸出,有手動自動轉(zhuǎn)換
    13、微機控制特點: a)工藝溫度段數(shù):1~14段,可選段運行 b)單段時間范圍:1~1080分鐘/斜變段    1~9999分鐘/恒溫段c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值               d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值e)PID參數(shù),溫度修正量可在線修改                      f)溫度設(shè)定單位:℃   分辨率:0.1℃g)工藝段時間設(shè)定單位:min,分辨率:1min                h)各類工藝數(shù)據(jù)斷電后長期保存i)工藝氣體流量,推拉舟運動狀態(tài)由微機實行閉環(huán)控制  j)中文顯示各類提示信息k)各類輸入信息采用填表方式完成,條例清楚,邏輯合理高溫真空燒結(jié)爐、粉末冶金燒結(jié)爐、真空氣氛燒結(jié)爐、太陽能燒結(jié)爐、微波燒結(jié)爐、燒結(jié)爐 玻璃燒結(jié)爐 高溫?zé)Y(jié)爐 試驗燒結(jié)爐 坩堝燒結(jié)爐、熱壓燒結(jié)爐、真空熱壓燒結(jié)爐、超高溫?zé)Y(jié)爐、超高溫反應(yīng)燒結(jié)爐、聚四氟乙稀燒結(jié)爐、立式燒結(jié)爐、臥式真空爐、燒結(jié)爐、陶瓷燒結(jié)爐、鏈式爐、擴散系統(tǒng)、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結(jié)爐、雙工燒結(jié)爐、陶瓷燒結(jié)爐、馬弗爐、消磁爐、溫度控制系統(tǒng)、熔封爐、縫焊機、加壓檢漏臺、壓力機、時效爐、氫氣高溫高壓爐、高溫淬火爐、時效爐、釬焊爐、真空氮氣燒結(jié)爐
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