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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CL-6200非接觸式測(cè)厚儀
CL-6200非接觸式測(cè)厚儀
產(chǎn)品價(jià)格:¥0
上架日期:2012-06-30 10:17:57
產(chǎn)地:日本
發(fā)貨地:廣州
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說(shuō)明
    CL-6200非接觸式測(cè)厚儀
    CL-6200、CL-4200
    日本小野CL-6200用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體及絕緣體測(cè)量。可廣泛應(yīng)用于硅晶片、鐵板、膠片、玻璃板等。與各種傳感器配套,可測(cè)量0.1 μm ~99.9999mm (導(dǎo)體・半導(dǎo)體測(cè)量時(shí))及0.1 μm~5.000mm (絕緣體測(cè)量時(shí))。
    CL-6200 は測(cè)定対象として、アルミディスクなどの導(dǎo)體、シリコンウェハなどの半導(dǎo)體、プラスチックフィルムなどの絶縁體を測(cè)定できます。さらに、補(bǔ)助信號(hào)や演算式を追加することが可能です。(特注対応)
    もちろん、2 チャンネル高精度変位計(jì)としても使用でき、豊富な演算式を使って多様なアプリケーションが可能です。また、BCD パラレル出力、RS - 232C 等豊富な出力機(jī)能を標(biāo)準(zhǔn)裝備。さらに、インライン用のパラレルⅠ/O インタフェースなども追加組み込み可能で、シーケンサ等と組合せも容易です。(特注対応)
    特長(zhǎng)

    測(cè)定対象に影響を與えない、非接觸による測(cè)定

    ディジタル表示のため、読み取りが簡(jiǎn)単

    単純なセンサの構(gòu)造が、優(yōu)れた耐久性を?qū)g現(xiàn)

    獨(dú)自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能

    インラインによる厚さ測(cè)定が可能

    導(dǎo)體・半導(dǎo)體から絶縁體まで測(cè)定対象は広範(fàn)囲

    演算機(jī)能內(nèi)蔵のため、各種演算統(tǒng)計(jì)処理が可能

    ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能

    豊富なインタフェースにより、計(jì)測(cè)制御のシステムアップが可能

    測(cè)定方法/演算式の追加・登録が可能

    測(cè)定サンプル例 

    導(dǎo)體・半導(dǎo)體

    絶縁體

    シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金屬板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。

    ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。

    概略仕様

    測(cè)定項(xiàng)目

    • 測(cè)定対象物の厚さ

    • センサA(chǔ)と測(cè)定対象及び対向?qū)wとのギャップ(A)

    • センサBと測(cè)定対象及び対向?qū)wとのギャップ(B)

    • AとBとの差

    • ユーザ定義の演算結(jié)果

    表示モード

    • 厚さまたはギャップを絶対値表示

    • 基準(zhǔn)値に対する偏光表示

    • 測(cè)定値の最大値、最小値

    分解能

    CL-6200型に、予めセットされたセンサにより自動(dòng)的に決定。センサ7種までセット可能。

    VE-121、VE-222、VE-521、VE-525A、VE-133→0.1μm単位
    VE-231、VE-531 →1μm単位

    パラメータ設(shè)定

    測(cè)定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、內(nèi)部メモリーに設(shè)定します。これらの設(shè)定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。

    サンプリング時(shí)間

    20ms、80ms選択

    アベレージング

    アナログ出力/BCD出力/CMP出力時(shí)

    平均回?cái)?shù)2~32回の移動(dòng)平均
    LCDの測(cè)定値表示は0.5秒の単純區(qū)間平均。

    リアルタイムデータ処理

    測(cè)定データの最大値、最小値をリアルタイムで表示

    データ・メモリー

    測(cè)定データを內(nèi)部メモリーより記憶。また、記憶されたデータを使って各種演算統(tǒng)計(jì)処理をします。

    記憶容量:2048點(diǎn)
    演算項(xiàng)目:最大、最小、最大-最小、平均、標(biāo)準(zhǔn)備差

    コンパレー夕機(jī)能

    獨(dú)立した2チャンネルのコンパレータ機(jī)能を內(nèi)蔵。

    出力:ノーマルオープン無(wú)電圧接點(diǎn)

    表示

    320×240ドットリックス液晶表示
    有効表示範(fàn)囲121(W)×91(H)mmバックライト付き

    アナログ出カ

    任意に対象を選択可能な2つのアナログ出力

    電力出力:一5V~+5V

    プリンタ出力

    計(jì)測(cè)データをプリント出カ(セントロニクス準(zhǔn)拠)

    外部コントロール

    外部の接點(diǎn)信號(hào)等により、制御可能

    制御項(xiàng)目:● START/STOP ● PAUSE ●STORE ● PRINT

    入力形式:無(wú)電圧接點(diǎn)入力

    インタフエース/入力信號(hào)

    • BCD :選択された項(xiàng)目の5桁BCDデータ出力

    • RS-232C:表示內(nèi)容の読み出し/パネルコンディション設(shè)定

    • SYNC?。篊L-6200を並列運(yùn)転する場(chǎng)合のサンプリングのクロックの入出力

    • AUX IN(オプション):補(bǔ)助アナログ入力?。?V~+5V(使用目的によりソフトウェアの追加が必要です。)

    • GPIB(オプション): 表示內(nèi)容の読み出し、パネルコンディションの設(shè)定が可能。規(guī)格IEEE-488準(zhǔn)拠

    電源

    AC 100V ~ 240V 50/60 Hz 消費(fèi)電力 60 VA 以下

    使用環(huán)境(本體のみ)

    溫度:+18 ℃~+28 ℃(精度保証範(fàn)囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範(fàn)囲)

    濕度:20~80 %R.H.(但し結(jié)露しないこと)

    外形寸法

    315(W)×150(H)×345(D)mm

    質(zhì)量

    約 6 kg

    廣州技創(chuàng)電子設(shè)備有限公司:http://www.gzjc1718.cn
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