CL2400非接觸式測厚儀
CL2400、CL6200
產(chǎn)品簡介：
日本小野CL系列顯示器有兩種型號，CL-2400是用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體測量，CL- 6200用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體及絕緣體測量。這兩種型號，可廣泛應(yīng)用于硅晶片、鐵板、膠片、玻璃板等。與各種傳感器配套，可測量0.1 μm ～99.9999mm （導(dǎo)體・半導(dǎo)體測量時）及0.1 μm～5.000mm （絕緣體測量時）。
CL-2400 は導(dǎo)體・半導(dǎo)體を?qū)澫螭趣筏糠墙佑|厚さ計です。対向した２ 個の VE シリーズセンサの間に測定対象を通すことにより、その厚さを測定することができます。BCD 出力、RS-232C インタフェース、ステータス出力、エラー信號出力、リモートコントロール入力など多種類の入出信號を標準裝備して、パソコン、シーケンサ等の外部機器との通信ができ、計測裝置のシステムアップが容易です。
產(chǎn)品特點：
1、測定対象に影響を與えない、非接觸による測定
2、ディジタル表示のため、読み取りが簡単
3、単純なセンサの構(gòu)造が、優(yōu)れた耐久性を?qū)g現(xiàn)
4、獨自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能
5、インラインによる厚さ測定が可能
6、ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能
7、豊富なインタフェースにより、計測制御のシステムアップが可能
功能應(yīng)用：
測定サンプル例 |
導(dǎo)體・半導(dǎo)體 |
シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金屬板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。 |
規(guī)格參數(shù)：
測定項目 |
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表示モード |
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分解能 |
CL-2400型に、予めセットされたセンサにより自動的に決定。センサ7種までセット可能。
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パラメータ設(shè)定 |
測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、內(nèi)部メモリーに設(shè)定します。これらの設(shè)定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。 |
サンプリング時間 |
20ms |
アベレージング |
BCD出力時 |
リアルタイムデータ処理 |
測定データの最大値・最小値、最大値一最小値をリアルタイムで表示。 |
表示 |
LED：緑色7セグメント6桁表示、単位表示、エラー表示 |
プリンタ出力 |
BCD出力を利用して、RQ-1410（ディジタルプリンタ別売り）にて印字 |
外部コントロール |
外部の接點信號等により、制御可能。 制御項目：● START／STOP ● PAUSE ●校正開始入力 |
インタフエース／入力信號 |
BCD ： 5桁BCD出力 RS-232C： コネクタ；HR12-10R-8SD SYNC?。?CL-2400をカスケード接続する場合のキャリア用 |
電源 |
AC 100～240 V 50／60 Hz 消費電力 30 VA 以下 |
使用環(huán)境 （本體のみ） |
溫度：＋18℃～＋28℃（精度保証範囲）、0℃～＋40℃（使用範囲） |
外形寸法 |
210（W）×99（H）×350（D）mm |
質(zhì)量 |
約 3.7 kg |
