擴散爐應用行業(yè)
擴散爐應用:應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池、半導體器件的擴散、氧化退火、燒結等工藝,也可做為磁性材料的燒結工藝,還可適用于機械行業(yè)的淬火、冶金業(yè)稀土的燒結工藝。
擴散爐特點:
1主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構架,獨立完成不同的工藝或相同工藝
2工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
3采用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
4關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性
5工藝管路采用進口閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),流量控制采用質量流量計(MFC)進口
6控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
7具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
擴散爐主要技術指標
1、工藝說明
1.1氧化:干氧工藝,濕氧工藝(去離子水、氫氧合成-內/外點火)
1.2擴散:硼擴、磷擴(液態(tài)源、固態(tài)源等)
1.3合金、退火等工藝
2、系統(tǒng)組成:主機(加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動送片(懸臂-SiC)凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)(氣源柜)、計算機控系統(tǒng)等組成
3、控制方式:手動送片/自動送片
4、擴散爐配置(可選):
4.1儀表控制/計算機控制
4.2工藝管(水平結構):1-4管
4.3工藝規(guī)格:2~6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片(工藝腔體為石英或碳化硅)
4.4恒溫區(qū)長度:1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載:懸臂式,剛玉/碳化硅桿,碳化硅槳
4.6工作臺:有凈化/無凈化
4.7工藝氣路:對應的工藝氣路,氣路閥門組件采用國際優(yōu)質品牌產(chǎn)品(如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等),MFC國際優(yōu)質(如MKS、UNIT、STEC等)或國產(chǎn)優(yōu)質
5、擴散爐主要技術參數(shù):
5.1工作溫度:200〜1300℃
5.2加熱體控制點:3/5點
5.3爐體恒溫區(qū):450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒溫區(qū)精度:>800℃/±0.5℃,<800℃/±1℃
5.5單點溫度穩(wěn)定性:600〜1300℃/±0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度:25℃/min
5.7最大降溫速度:5℃/min(900〜1300℃)
5.8供電:三相四線,380VAC/50Hz
6、結構尺寸:
6.1結構:水平擴散爐/垂直擴散爐
擴散爐選型
1按結構可分為立式和臥式兩種。
2推拉舟有斜滾.雙桿.懸臂三種形式。
3工作臺有簡易操作臺(無凈化、凈化);標準操作臺(無凈化、凈化)。
4按管路的組成及連接形式可從以下兩方面來區(qū)分:
1.按流量控制器區(qū)分:可分為浮子流量計和質量流量控制器。
2.按閥門及連接方式區(qū)分:可分為進口電磁閥卡套連接.進口氣動閥卡套連接.進口氣動閥VCR連接三種形式。
5按工藝類型區(qū)分:可分為干氧氧化.濕氧氧化(普通濕氧化和氫氧合成氧化). 磷擴散.硼擴散和退火(合金)等多種。
青島奧博儀表設備有限公司提供本設備全面的技術支持和售后服務!高溫真空燒結爐、粉末冶金燒結爐、真空氣氛燒結爐、太陽能燒結爐、微波燒結爐、燒結爐 玻璃燒結爐 高溫燒結爐 試驗燒結爐 坩堝燒結爐、熱壓燒結爐、真空熱壓燒結爐、超高溫燒結爐、超高溫反應燒結爐、聚四氟乙稀燒結爐、立式燒結爐、臥式真空爐、燒結爐、陶瓷燒結爐、鏈式爐、擴散系統(tǒng)、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結爐、雙工燒結爐、陶瓷燒結爐、馬弗爐、消磁爐、溫度控制系統(tǒng)、熔封爐、縫焊機、加壓檢漏臺、壓力機、時效爐