1、 擴散泵機組是用來獲得高真空的主要設(shè)備,主要由油擴散泵、
閥門、水冷檔板、管道、機械真空泵及控制測量部分等組成,
可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。
2、 機組抽氣范圍為110L/s至60000L/s,可長時間穩(wěn)定連續(xù)工作。
3、 廣泛應(yīng)用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)
藥、原子能、宇宙探測等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空
鍍膜設(shè)備,真空冷凍干燥設(shè)備等。
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