掃描范圍（mm×mm） |
材料 |
適用波長(zhǎng)(μm) |
入射光直徑(mm) |
最大入射角（°) |
鏡座至工件距離(mm) |
振鏡至鏡座距離(mm) |
50×50 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
8 |
15 |
102 |
13 |
80×80 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
113 |
12 |
110×110 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
165 |
13 |
125×125 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
184 |
13 |
175×175 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
249 |
14 |
200×200 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
284 |
14 |
250×250 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
347 |
14 |
300×300 |
光學(xué)玻璃 |
1.064 |
14 |
15 |
421 |
15 |
