| 化學(xué)成分 | 高純單晶氧化鋁Al2O3 | － |
| 純度 | ＞99.996 | % |
| 位錯(cuò)密度 | ＜104 | cm-2 |
| 表面晶向 | C-plane（0001）±0.2 | Degrees |
| M軸偏離角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
| A軸偏離角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
| 直徑 | Φ100.0 ± 0.10 | mm |
| 厚度 | 650±15 | μm |
| 標(biāo)記平面晶向 | A-axis（11-20）± 0.2 | Degrees |
| 標(biāo)記面寬度 | 32.5±1 | mm |
| 正面 | 精細(xì)拋光(開盒即用) | － |
| 正面粗超度(Ra) | ≦ 0.3 | nm |
| 被面粗超度 (Ra) | 0.5 ~ 1 | μm |
| 總厚度偏差 | ＜ 15 | μm |
| 翹曲度 | 0～-15 | μm |
| 彎曲度 | ≦ 15 | μm |
| 邊緣倒角 | C=45 | Degrees |
| 包裝 | 100級(jí)潔凈車間，25片或單片真空/充氮包裝 | 盒 |