X向量程:150mm
X軸指示精度:±(1+0.025L)μm
Z1向量程:24mm
Z1指示精度:±(1+|0.02H|)μm
Z軸(立柱):450mm
直線度: 1μm/100mm
水平精度:±(1+0.02L)μm
垂直精度:±(0.8+|0.02H|)μm
檢測方法:X軸 新型數(shù)字式傳感器 0.2μm
Z1軸 新型數(shù)字式傳感器 0.01μm
驅(qū)動速度: X軸 Z軸(立柱) 4檔,可自定義速度
測量速度:X軸: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
驅(qū)動方式:X軸 Z軸 均為電動
產(chǎn)品特點(diǎn)
★ 高性能、高配置輪廓測量一體機(jī)。部分型號增加了立柱隨動功能,自動標(biāo)注、間斷測量。
★ Z1軸采用高精度數(shù)字式線性傳感器,測量范圍大、精度高、穩(wěn)定。
★ 采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元,硬件觸發(fā)、硬件高速采樣,無延時(shí)。足夠密集的數(shù)據(jù)源及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源
★ 為后期的數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供最有力的保障。
★ 大量程設(shè)計(jì),杠桿比僅為1:2.2,最大限度保持了傳感器的原有精度。
★ Z軸傳感器整體結(jié)構(gòu)無任何彈性元件,從而保證無論測針處于均任何位置測力是衡定的。
★ 軟件自主研發(fā),標(biāo)注、操作方式與CAD一致,軟件功能強(qiáng)大,有自動抬起、自動回退及捕捉功能。
★ 對測針進(jìn)行補(bǔ)償。
★ 擬合數(shù)據(jù)自動保存,便于多次標(biāo)注
★ 出廠經(jīng)激光干涉儀校正。