基本參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)型)
X向量程：100mm
X軸分辨率：0.2μm
X軸指示精度：±（3+0.02L)μm
Z1向量程：25mm
Z1軸分辨率：0.05μm
Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm
Z軸高度：320mm 立柱行程
直線(xiàn)度：1μm/50mm
水平精度：±（1.2+0.02L)μm
垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm
驅(qū)動(dòng)方式：X軸 Z軸 均為電動(dòng)
檢測(cè)方法： X軸 高精度光柵傳感器 0.2μm
Z1軸 高精度光柵傳感器 0.05μm
驅(qū)動(dòng)速度： X軸 Z軸（立柱） 4檔，可自定義速度
測(cè)量速度：X軸: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定義
產(chǎn)品特點(diǎn)
★ 高精度小臺(tái)式輪廓測(cè)量?jī)x。
★ Z1軸采用高精度數(shù)字式線(xiàn)性傳感器，測(cè)量范圍大、精度高、穩(wěn)定。
★ 采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無(wú)延時(shí)。足夠密集的數(shù)據(jù)源及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源，為后期的數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供最有力的保障。
★ 大量程設(shè)計(jì)，杠桿比僅為1：2.2，最大限度保持了傳感器的原有精度。
★ Z軸傳感器整體結(jié)構(gòu)無(wú)任何彈性元件，從而保證無(wú)論測(cè)針處于均任何位置測(cè)力是衡定的。
★ 軟件自主研發(fā)，標(biāo)注、操作方式與CAD一致，軟件功能強(qiáng)大，有自動(dòng)抬起、自動(dòng)回退及捕捉功能。
★ 對(duì)測(cè)針進(jìn)行補(bǔ)償。
★ 擬合數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，便于多次標(biāo)注