邊緣差壓表
產(chǎn)品說明:
出色的指示線性度、滯后性和再現(xiàn)性,可實現(xiàn)對小壓差區(qū)域的高精度測量產(chǎn)品用途:
主要利用領域半導體制造裝置零件集塵機負壓
?空調設備差壓過濾器壓損管理?無塵室室壓力測量
型號組成:
規(guī)格:
規(guī)格 |
橫標尺 |
縱標尺 |
分色橫標尺 |
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FR51AHV |
FR51AVV |
FR51ACV |
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壓力單位 |
Pa、kPa |
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壓力測定方式 |
差圧式 |
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受壓元件 |
ダイヤフラム |
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測定氣體體 |
空気および非腐食性ガス(液體は不可) |
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刻度形狀 |
エッジワイズ形(目盛長 約45㎜) |
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使用環(huán)境溫度 |
-10~+50℃(ただし氷結しないこと) |
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使用環(huán)境濕度 |
90%RH以下(ただし結露しないこと) |
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儀表本體耐壓 |
50kPa |
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外 裝 材 質 |
ポリカーボネート |
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耐 久 振 動 |
5 ~10Hz 振幅10㎜、 10~50Hz 加速度39m/s 2 (3軸方向各2h) |
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耐 久 沖 撃 |
100m/s 2 (3軸方向各6回) |
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適 合 配 管 |
ビニル管またはゴム管(內(nèi)徑4) |
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口 金 部 |
本體と一體成形 |
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口 金 極 性 |
高圧側「H」、低圧側「L」のマークにて口金部に表示 |
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質 量 |
約90g |
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圧力レンジコード |
圧力レンジ |
取付姿勢 (下記參照) |
精度(注) (23℃において) |
受圧エレメント材質 |
受圧エレメント耐圧力 |
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50DH |
0~50 Pa |
水平 |
±2.5%FS
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シリコーンゴム |
20 kPa |
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50DV |
垂直 |
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100DH |
0~100 Pa |
水平 |
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100DV |
垂直 |
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200D |
0~200 Pa |
水平 ~ 垂直 ~ 下向水平間 取付任意 |
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300D |
0~300 Pa |
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500D |
0~500 Pa |
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1000D |
0~1000 Pa |
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2E |
0~2 kPa |
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3E |
0~3 kPa |
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5E |
0~5 kPa |
水平 |
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+-50 DH |
-50~+50 Pa |
垂直 |
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+-50 DV |
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+-100 D |
-100~+100 Pa |
水平~垂直 ~下向水平間取付任意 |
安裝姿勢和范圍:
產(chǎn)品圖片:
產(chǎn)品尺寸:
構造概要: