雙Z軸測量技術(shù)，可靈活選配多種傳感器及轉(zhuǎn)臺配置，滿足多任務(wù)測量需求。
OPTIV M 3.2.2
OPTIV M 4.4.3
OPTIV M 6.6.3
OPTIV M 6.6.4
OPTIV M 4.4.3 Dual Z
OPTIV M 6.6.3 Dual Z
OPTIV M 6.6.4 Dual Z
OPTIV PERFORMANCE 4.4.2
OPTIV PERFORMANCE 6.6.2
專利雙Z軸復(fù)合式測量技術(shù)，實現(xiàn)亞微米范圍內(nèi)的測量精度，開創(chuàng)影像精密測量的技術(shù)新高。光學(xué)測量和接觸測量結(jié)合在一個系統(tǒng)中，使得復(fù)合式影像測量儀極大限度地提高了測量效率和應(yīng)用的靈活性。PERFORMANCE / M 還配備雙Z軸技術(shù)，進一步縮短了檢測周期，降低檢測成本，提高測量結(jié)果可靠性。
Optiv PERFORMANCE / M 系列影像測量儀被廣泛的應(yīng)用于: 3C電子、半導(dǎo)體、精密機械、醫(yī)療、航空航天、計量院所等行業(yè)。
1) CCD影像:
對小、薄、軟、精密的被測特征進行非接觸測量避免形變。
2) CWS白光:
對柔軟、反射或低對比度的表面進行亞微米精度級別的測量。
3) 接觸式掃描:
對影像無法完成無法識別的三維特征進行單點觸發(fā)和連續(xù)掃描測量。
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