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旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)：
回轉(zhuǎn)精度：（0.025+6H/10000）μm
回轉(zhuǎn)速度：4、6、8、10rpm
臺(tái)面承載：25kg
回轉(zhuǎn)直徑：560mm
測(cè)量直徑：280mm
軸承類型：氣浮軸承
垂直軸（Z軸）：
立柱行程：320mm
檢測(cè)深度：100mm(最小內(nèi)徑：35mm)
垂直移動(dòng)方式：電動(dòng)
立柱直線度：0.3μm/100mm
水平臂（X軸）：
水平移動(dòng)：165mm
突出量：25mm
水平移動(dòng)方式：電動(dòng)
檢測(cè)器：
采集器件：圓光柵
圓周采樣點(diǎn)數(shù)：16384點(diǎn)
傳感器類型：電動(dòng)傳感器
傳感器量程：±300μm
傳感器分辨率：0.001μm
X向 Z向： 高精度光柵傳感器
產(chǎn)品特點(diǎn)
★ 的補(bǔ)償算法，對(duì)Ｚ軸精度進(jìn)行補(bǔ)償。
★ 可測(cè)量錐形柱體的錐度（小錐體）。
★ 氣浮運(yùn)動(dòng)軸系，精度保持長(zhǎng)。
★ 各軸系采用進(jìn)口精密光柵計(jì)數(shù)。
★ 關(guān)鍵件采用特殊去應(yīng)力合金材料及特殊的去應(yīng)力處理工藝，精度保持長(zhǎng)久。
★ 高精度采集控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)所有電路按軍品標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及驗(yàn)收。
★ 能在20±2℃的溫度區(qū)間內(nèi)穩(wěn)定工作。
★ 軟件自主研發(fā)，模塊化設(shè)計(jì)使用戶維護(hù)成本降至。
★ 配置靈活，可據(jù)根用戶要求配置。
