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所以旋片泵極限真空度下降，噪聲大，卡死等現(xiàn)象，與油的質(zhì)量和機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)有關(guān)。油擴(kuò)散泵：油擴(kuò)散泵是目前生產(chǎn)中常用的高真空泵，被廣泛用于真空電子器件的排氣車、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設(shè)備中。它的主要特點(diǎn)是在高真空下。對(duì)各種氣體都有很高的抽速，使用維護(hù)都很方便，無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)，不易損壞，但不足之處不能單獨(dú)使用，必須有前級(jí)泵方可工作。油擴(kuò)散泵是一種蒸氣流泵，其工作原理利用蒸流的作用來(lái)將低密度氣體壓縮為較高密度使其達(dá)到機(jī)械泵能夠作用氣體壓強(qiáng)范圍被抽走。
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