其系統(tǒng)工作示意圖如下：
該研究所的離子束濺射鍍膜組成系統(tǒng)主要由濺射室、雙離子源、濺射靶、基片臺(tái)等部分組成.
其中雙離子源中的一個(gè)離子源適用于濺射靶材, 另個(gè)離子源是用于基材的預(yù)清洗.
|
射頻離子源型號(hào) |
RFICP 380 |
|
Discharge 陽(yáng)極 |
射頻 RFICP |
|
離子束流 |
>1500 mA |
|
離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
30 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦 |
|
流量 |
15-50 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
|
長(zhǎng)度 |
39 cm |
|
直徑 |
59 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
推薦理由：
聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染
KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):
|
離子源型號(hào)
|
eH3000 |
|
Cathode/Neutralizer |
HC |
|
電壓 |
50-250V |
|
電流 |
20A |
|
散射角度 |
>45 |
|
可充其他 |
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
|
氣體流量 |
5-100sccm |
|
高度 |
6.0“ |
|
直徑 |
9.7“ |
|
水冷 |
可選 |
其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10-5Pa, 經(jīng)推薦采用伯東分子泵組 Hicube 80 Pro, 其技術(shù)參數(shù)如下：
|
進(jìn)氣法蘭 |
氮?dú)獬樗?br /> N2,l/s |
極限真空 hpa |
前級(jí)泵 型號(hào) |
前級(jí)泵抽速 |
前級(jí)真空 |
|
DN 40 ISO-KF |
35 |
< 1X10-7 |
Pascal 2021 |
18 |
AVC 025 MA |
運(yùn)行結(jié)果：
伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射技術(shù)可以制備不同吸收率的355nm高反射吸收 Ta2O5 薄膜.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
