在真空實(shí)用技術(shù)，真空的獲得和測(cè)量是最重要的兩個(gè)方面。在一個(gè)真空系統(tǒng)中，真空獲得的設(shè)備和測(cè)量?jī)x器是必不可少的。工業(yè)實(shí)用中，真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
每套真空系統(tǒng)出廠(chǎng)時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道，即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，各種真空獲得設(shè)備向高抽速、高極限真空、無(wú)污染方向發(fā)展。各種真空測(cè)量設(shè)備與微型計(jì)算機(jī)相結(jié)合，具有數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)打印、自動(dòng)監(jiān)控和自動(dòng)切換量程等功能。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成，以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
真空系統(tǒng)自啟動(dòng)后，全部運(yùn)行過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據(jù)用戶(hù)要求進(jìn)行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達(dá)到流程工藝。
當(dāng)需要獲得高真空度時(shí)，通常需要在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個(gè)高真空泵。當(dāng)串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門(mén)，以便高真空泵能單獨(dú)保持真空。啟動(dòng)系統(tǒng)，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運(yùn)行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求。
應(yīng)用行業(yè)：電工、紡織、CNC雕刻機(jī)、真空成型機(jī)、折頁(yè)機(jī)、爆光機(jī)、計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體運(yùn)用、線(xiàn)路板、電池、電容、裝訂機(jī)、照相制版機(jī)、冷凍空調(diào)制程真空、包裝機(jī)、變壓器、光學(xué)鏡片、自動(dòng)注型、聚氨脂工藝、標(biāo)簽粘貼機(jī)、曬版機(jī)、線(xiàn)路板機(jī)真空升降機(jī)、真空吸盤(pán)、印刷機(jī)、VCD&DVD光盤(pán)表面真空濺鍍、工業(yè)爐、冶煉和熱處理、金屬真空鍍膜、真空焊接、電子束焊等、真空鍍膜、真空干焊、真空包裝工業(yè)、空間模擬、科研領(lǐng)域、醫(yī)院負(fù)壓系統(tǒng)、環(huán)保工業(yè)、電子工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、塑膠工業(yè)、一般機(jī)機(jī)械、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運(yùn)等工業(yè)。
