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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
光刻膠與電子束抗蝕劑 硝酸鈰銨
光刻膠與電子束抗蝕劑 硝酸鈰銨
產(chǎn)品價(jià)格:¥24
上架日期:2025-06-30 16:52:25
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詳細(xì)說明
    • 光刻膠與電子束抗蝕劑
      利用硝酸鈰銨的強(qiáng)氧化性,可與聚合物(如聚乙烯醇)反應(yīng)形成感光材料,在紫外光或電子束照射下發(fā)生氧化交聯(lián),實(shí)現(xiàn)圖案化加工,適用于微電子器件的光刻工藝。
    • 硝酸鈰銨在銅刻蝕技術(shù)中具有重要應(yīng)用,主要基于其強(qiáng)氧化性,可將銅氧化從而實(shí)現(xiàn)刻蝕。相關(guān)介紹如下:

      刻蝕原理:硝酸鈰銨是一種強(qiáng)氧化劑,化學(xué)式為 (NH?)?Ce (NO?)??2H?O6。在銅刻蝕過程中,硝酸鈰銨中的 Ce??具有強(qiáng)氧化性,能將銅單質(zhì)氧化為銅離子,自身被還原為 Ce3?,反應(yīng)方程式可表示為:Cu + 2 (NH?)?Ce (NO?)? = Cu (NO?)? + 2 (NH?)?Ce (NO?)?。

      蝕刻液組成1:硝酸鈰銨可與硫酸等組成蝕刻液,如一種蝕刻鉻銅金屬的蝕刻液中,包含硫酸、硝酸鈰銨、添加劑和水,其中硫酸濃度為 50-400g/l,硝酸鈰銨濃度為 50-500g/l,添加劑濃度為 1-50g/l。

      應(yīng)用場(chǎng)景:硝酸鈰銨常用于集成電路制造等領(lǐng)域的銅刻蝕工藝。例如在銅互連結(jié)構(gòu)制造中,可采用濕法刻蝕工藝,利用硝酸鈰銨和硝酸的混合液去除相關(guān)金屬阻擋層,以便進(jìn)行后續(xù)的銅電鍍等工藝3。它還可用于印制電路板(PCB)制造中,對(duì)銅箔進(jìn)行刻蝕,形成所需的電路圖案。

      優(yōu)點(diǎn):硝酸鈰銨參與的刻蝕工藝具有一定優(yōu)勢(shì),如刻蝕速率較快,能夠提高生產(chǎn)效率;可通過調(diào)整蝕刻液成分和工藝條件,較好地控制刻蝕速率和刻蝕精度,滿足精細(xì)線路制作的要求。

      注意事項(xiàng):硝酸鈰銨是強(qiáng)氧化劑,使用時(shí)要避免與有機(jī)物、還原劑等接觸,以防發(fā)生危險(xiǎn)。同時(shí),刻蝕過程中可能會(huì)產(chǎn)生一些氮氧化物等有害氣體,需要做好通風(fēng)等防護(hù)措施,確保操作環(huán)境安全。


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