型號 |
Excel 1051 UM/UC |
Excel 1052 UM/UC |
Excel 1054 UM/UC |
量測行程 |
1050 x 1050 x 160mm |
1050 x 1050 x 250mm |
1050 x 1050 x 400mm |
外形尺寸 |
1720 x 2000 x 1650mm |
1720 x 2000 x 1850mm |
1720 x 2000 x 2000mm |
重量 |
2700kg |
2750kg |
2850kg |
光學(xué)尺分辨率 |
0.1μm |
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XY 精度,E2 |
3.3 + L/300 |
3.6 + L/300 |
4.3 + L/200 |
Z 精度,E1 |
2.8 + L/100 |
3.3 + L/100 |
3.8 + L/100 |
鏡頭倍率光學(xué),數(shù)字) |
36x (12x,3x) |
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表面光, 輪廓光,同軸光光源 |
紅光LED (黑白系統(tǒng)) 白光 LED(彩色系統(tǒng)) |
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放大倍率 |
15x - 540x to 30x - 1080x |
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電源系統(tǒng) |
93-264 VAC,47-63 Hz |
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工作溫度 |
20℃±2° |
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存放溫度 |
-25℃ ~ 60℃ |
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工作濕度 |
30%-80% |
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