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耐腐蝕氣體質量流量控制器 ALICAT總經銷腐蝕氣體流量控制器型號變體

• 低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
• 高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
• 閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
• 配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

耐腐蝕氣體質量流量控制器 ALICAT總經銷腐蝕氣體流量控制器閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用
• MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）
• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
• MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

耐腐蝕氣體質量流量控制器 ALICAT總經銷腐蝕氣體流量控制器 腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質。

結構選項

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準