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PV2R13-23-116-F-REAA葉片泵應(yīng)用
25BCY14-1B電液比例控制變量泵
 工作原理
        主體部分（參見結(jié)構(gòu)剖）由傳動軸帶動缸體旋轉(zhuǎn)，使均勻分布在缸體上的七個(gè)柱塞繞傳動軸中心線轉(zhuǎn)動，通過中心彈簧將柱滑組件中的滑靴壓在變量頭（或斜盤）上。這樣，柱塞隨著缸體的旋轉(zhuǎn)而作往復(fù)運(yùn)動，完成吸油和壓油動作。
        BCY14-1B型電液比例控制變量泵，是利用“流量——位移——力反饋”的原理設(shè)計(jì)的，是CY14-1B型軸向柱塞泵中一種新的變量型式，是靠外控油壓來控制變量機(jī)構(gòu)，并利用輸入比例電磁鐵的電流大小來改變泵的流量，輸入電流與泵的流量成比例關(guān)系。該泵控制靈活、動作靈敏、重復(fù)精度高、穩(wěn)定性好，能方便地實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)的遙控、自控、無級調(diào)速、跟蹤反饋同步和計(jì)算機(jī)控制，適用于工業(yè)自動化的要求 

PCY14-1B恒壓變量軸向柱塞泵
 工作原理
        主體部分（參見結(jié)構(gòu)剖）由傳動軸帶動缸體旋轉(zhuǎn)，使均勻分布在缸體上的七個(gè)柱塞繞傳動軸中心線轉(zhuǎn)動，通過中心彈簧將柱滑組件中的滑靴壓在變量頭（或斜盤）上。這樣，柱塞隨著缸體的旋轉(zhuǎn)而作往復(fù)運(yùn)動，完成吸油和壓油動作。         這種變量型式的泵，輸出壓力小于調(diào)定恒壓力時(shí)，全排量輸出壓力油，即定量輸出，在輸出油液的壓力達(dá)到調(diào)定壓力時(shí)，就自動地調(diào)節(jié)泵流量，以保證恒壓力，滿足系統(tǒng)的要求。泵的輸出恒壓值，根據(jù)需要，在調(diào)壓范圍內(nèi)可以無級調(diào)定，泵的結(jié)構(gòu)見圖6，該結(jié)構(gòu)將輸出的壓力油同時(shí)通至變量活塞下腔和和恒壓閥的控制油入口，當(dāng)輸出壓力小于調(diào)定恒壓力時(shí)，作用在恒壓閥芯上的油壓推力小于調(diào)定彈簧力，恒壓閥處于開啟狀態(tài)，壓力油進(jìn)入變量活塞上腔，變量活塞壓在最低位置，泵全排量輸出壓力油； 當(dāng)泵在調(diào)定恒壓力工作時(shí)，作用在恒壓閥芯上的油壓推力等于調(diào)定彈簧力，恒壓閥的進(jìn)排油口同時(shí)處于開啟狀態(tài)，使變量活塞上下腔的油壓推力相等，變量活塞平衡在某一位置工作，若液壓阻尼（負(fù)載）加大，油壓瞬時(shí)升高，恒壓閥排油口開大、進(jìn)油口關(guān)小，變量活塞上腔比較下腔壓力降低、變量活塞向上移動，泵的流量減小，直至壓力下降到調(diào)定恒壓力，這時(shí)變量活塞在新的平衡位置工作。反之，若液壓阻尼（負(fù)載）減小，油壓瞬時(shí)下降，恒壓閥進(jìn)油口開大，排油口關(guān)小，變量活塞上腔比較下腔油壓升高，變量活塞向下移動，泵的流量增大，直至壓力上升至調(diào)定恒壓力。 
 
PV2R13-23-116-F-REAA葉片泵應(yīng)用
PV2R13-23-116-F-REAA葉片泵應(yīng)用
很多潛在的工藝問題均與布局有關(guān)?；瘜W(xué)機(jī)械平面化（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）中的凹陷和浸蝕、金屬版印刷的光學(xué)近似效應(yīng)（OpticalProximityEffects）、蝕刻負(fù)載（EtchLoading）以及許多其他的工藝特性都隨著特征密度（FeatureDensity）而改變。過程工藝（ViaProcess）取決于主要層的特性，以及其本身的布局堆棧式（stacked）或非堆棧式（unstacked）。

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