1.概述
1.1設(shè)備概況：
主要功能：本設(shè)備主要手動(dòng)搬運(yùn)方式，通過對(duì)硅片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果。
1.1.1 設(shè)備名稱：SPM腐蝕機(jī)
1.1.2 設(shè)備型號(hào)：CSE-SC-NZD253
1.1.3 整機(jī)尺寸(參考)：自動(dòng)設(shè)備約3000mm（L）×1800mm(W)×2400mm(H)；
1.1.4 被清洗硅片尺寸：2---6寸（25片/籃）
1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;
1.1.6 操作形式：自動(dòng)
1.2 設(shè)備組成
該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成
設(shè)備走向：方案圖按 “左進(jìn)右出”方式，另可按要求設(shè)計(jì)“右進(jìn)左出”方式；
1.3設(shè)備描述
l 此裝置是一個(gè)全自動(dòng)的處理設(shè)備。
l10.4英寸大型觸摸屏（PROFACE/OMRON)顯示 / 檢測(cè) / 操作
l 每個(gè)槽前上方對(duì)應(yīng)操作按鈕，與觸摸屏互相配合
l 主體材料：進(jìn)口優(yōu)質(zhì)瓷白PP板；
l DIW管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材，需滿足18MW去離子水水質(zhì)要求，酸堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF；
l 采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬(wàn)級(jí)凈化間內(nèi)完成
l 排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后上部
l 工作照明：上方防酸照明
l 三菱、歐姆龍 PLC控制。
l 安全考慮：
1. 設(shè)有EMO(急停裝置)，
2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離
3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面
4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge）
5. 設(shè)備三層防漏 樓盤傾斜 漏液報(bào)警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)
6. 排放管路加過濾裝置
l 所有槽體折彎成型，可有效避免死角顆粒;
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)及主要工藝概況
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槽體 |
工位1 |
工位2 |
工位3 |
工位4 |
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介質(zhì) |
硫酸雙氧水 |
硫酸 雙氧水 |
DIW |
DIW |
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功能 |
加熱 溢流 循環(huán) |
加熱 溢流 循環(huán) |
浸泡 溢流 加熱 |
噴 淋 快 排 注 水 溢 流 |
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溫度 |
120℃±3℃ |
120℃±3℃ |
80℃±5℃ |
ROOM |
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材料 |
石英 |
石英 |
石英 |
NPP |
