1.1 設(shè)備概況：
1.1.1 主要功能：設(shè)備主要采用人工上下料、機械手自動實現(xiàn)槽體之間轉(zhuǎn)移方式，對2--12英寸石英爐管或其他石英配件進行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮氣鼓泡等方式進行處理，從而達到一個優(yōu)異的清洗效果；
1.1.2 被清洗爐管尺寸（Max）：2--12英寸的石英爐管，；
1.1.3 設(shè)備形式：無塵室（class 1000級 fab）內(nèi)放置型；
1.1.4 清洗時間：0~999MIN（可根據(jù)實際工藝時間而定）；
1.1.5 操作形式：觸摸屏 自動/手動操作；
1.2 設(shè)備組成
1.2.1 該設(shè)備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統(tǒng)、機械臂機構(gòu)、排風系統(tǒng)、電控部分及防漏液盤組成；
1.3 設(shè)備描述
1.3.1 該設(shè)備是一個全自動（清洗）的處理設(shè)備；
1.3.2 觸摸屏（PROFACE、OMRON）顯示 / 檢測 / 操作；
1.3.3 清洗工作過程由歐姆龍或三菱PLC 控制；
1.4 設(shè)備特性
1.4.1 需要漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠;
1.4.2 需要設(shè)備成本合理,自動化程度高,使用成本低;
1.4.3 設(shè)備上層為電器控制系統(tǒng)、機械臂機構(gòu)及抽風系統(tǒng)，中層為工作區(qū)，下層和后下部為管道安裝維修區(qū)；
1.4.4 設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計必須合理，方便工程師維護、維修，適宜生產(chǎn)線上大批次操作；
1.4.5 機臺要求有回收水裝置，在排水管路上安裝一個三通裝置，并在程式中選擇排水路徑，將水排入純回水管路或者DHF管路；
1.4.6 配備一個可移動的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat；
1.4.7 在水槽左右側(cè)壁處需要開溢流口（開關(guān)狀態(tài)可受控制）；
1.4.8 在整臺設(shè)備的底部裝有防漏液盤；
1.4.9 臺面網(wǎng)孔設(shè)計；
1.4.10 水平調(diào)整：通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；
1.4.11 設(shè)備移動：設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；
1.4.12 上料平臺操作面高度：950mm；
1.4.13 操作面門設(shè)計：單開門透明的PVC活動門（上下推拉+配重）；
1.4.14 對水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫程式，并自動運行；
1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支；
1.4.16 設(shè)計內(nèi)外槽：內(nèi)槽為酸槽，外槽為水槽；（內(nèi)外槽，分別有溢流功能）
1.4.17 使用酸液為：49%HF與DIW配比后的HF
1.4.18 各槽材質(zhì)：酸槽為PVDF（耐化學腐蝕），水槽為NPP（耐腐蝕）；
1.4.19 防漏槽材質(zhì)為：PP；
1.4.20 機械手臂需要能夠上下左右移動（上升時需要有略傾斜功能----左右落差3cm， 將酸液倒出）；
1.4.21 機械手臂需要采用伺服電機控制；
1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由廠務(wù)系統(tǒng)提供；
1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看；
1.4.24 自動清洗流程
人工上料→選擇好相應(yīng)的清洗時間→按AUTO（RUN，door open interlock）鍵→系統(tǒng)自動移動到酸槽進行酸洗（右邊比左邊低3CM下行）→等泡酸時間結(jié)束系統(tǒng)自動將Quartz提起（右邊比左邊低3CM上行）→系統(tǒng)自動移動到水槽進行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動作完成后蜂鳴器提示（1分鐘）→人工下料；
