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產(chǎn)品簡介
英思特濕法自動/半自動 石英爐管 石英舟 清洗機 全國上門服務
英思特濕法自動/半自動 石英爐管 石英舟 清洗機 全國上門服務
產(chǎn)品價格:¥100000
上架日期:2020-06-16 15:01:40
產(chǎn)地:本地
發(fā)貨地:本地至全國
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明




    1.1 設備概況:


    1.1.1 主要功能:設備主要采用人工上下料、機械手自動實現(xiàn)槽體之間轉(zhuǎn)移方式,對2--12英寸石英爐管或其他石英配件進行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮氣鼓泡等方式進行處理,從而達到一個優(yōu)異的清洗效果;

    1.1.2 被清洗爐管尺寸(Max):2--12英寸的石英爐管,;

    1.1.3 設備形式:無塵室(class 1000級 fab)內(nèi)放置型;

    1.1.4 清洗時間:0~999MIN(可根據(jù)實際工藝時間而定);

    1.1.5 操作形式:觸摸屏 自動/手動操作;

    1.2 設備組成

    1.2.1 該設備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統(tǒng)、機械臂機構、排風系統(tǒng)、電控部分及防漏液盤組成;

    1.3 設備描述

    1.3.1 該設備是一個全自動(清洗)的處理設備;

    1.3.2 觸摸屏(PROFACE、OMRON)顯示 / 檢測 / 操作;

    1.3.3 清洗工作過程由歐姆龍或三菱PLC 控制;

    1.4 設備特性

    1.4.1 需要漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠;

    1.4.2 需要設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;

    1.4.3 設備上層為電器控制系統(tǒng)、機械臂機構及抽風系統(tǒng),中層為工作區(qū),下層和后下部為管道安裝維修區(qū);

    1.4.4 設備結構設計必須合理,方便工程師維護、維修,適宜生產(chǎn)線上大批次操作;

    1.4.5 機臺要求有回收水裝置,在排水管路上安裝一個三通裝置,并在程式中選擇排水路徑,將水排入純回水管路或者DHF管路;

    1.4.6 配備一個可移動的清洗架,主要用于清洗小件Quartz和boat;

    1.4.7 在水槽左右側壁處需要開溢流口(開關狀態(tài)可受控制);

    1.4.8 在整臺設備的底部裝有防漏液盤;

    1.4.9 臺面網(wǎng)孔設計;

    1.4.10 水平調(diào)整:通過地腳調(diào)整設備水平;

    1.4.11 設備移動:設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用;

    1.4.12 上料平臺操作面高度:950mm;

    1.4.13 操作面門設計:單開門透明的PVC活動門(上下推拉+配重);

    1.4.14 對水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫程式,并自動運行;

    1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支;

    1.4.16 設計內(nèi)外槽:內(nèi)槽為酸槽,外槽為水槽;(內(nèi)外槽,分別有溢流功能)

    1.4.17 使用酸液為:49%HF與DIW配比后的HF

    1.4.18 各槽材質(zhì):酸槽為PVDF(耐化學腐蝕),水槽為NPP(耐腐蝕);

    1.4.19 防漏槽材質(zhì)為:PP;

    1.4.20 機械手臂需要能夠上下左右移動(上升時需要有略傾斜功能----左右落差3cm, 將酸液倒出);

    1.4.21 機械手臂需要采用伺服電機控制;

    1.4.22 使用的DI WATER和酸液(HF49%)都是由廠務系統(tǒng)提供;

    1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看;

    1.4.24 自動清洗流程

    人工上料→選擇好相應的清洗時間→按AUTO(RUN,door open interlock)鍵→系統(tǒng)自動移動到酸槽進行酸洗(右邊比左邊低3CM下行)→等泡酸時間結束系統(tǒng)自動將Quartz提起(右邊比左邊低3CM上行)→系統(tǒng)自動移動到水槽進行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動作完成后蜂鳴器提示(1分鐘)→人工下料;
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