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泵 (電動CT泵)
電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型
對應(yīng)微細(xì)化半導(dǎo)體晶片的下一代電動泵。世界首款(注)CT泵的構(gòu)造開發(fā)、低發(fā)塵、除泡性好、以簡單的構(gòu)造實現(xiàn)了高精度。

泵 (電動CT泵) 電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型 ●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵  ●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可） 最大吐出壓力 吐出量 ml 吐出. 輸入流量 ml/s 0.15MPa 0.5～6 0.1～4 電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型 ●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵  ●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可） 最大吐出壓力 吐出量 ml 吐出. 輸入流量 ml/s 0.15MPa 0.5～10 0.1～4