基板的平整度檢測(cè)
基板組件的高度檢測(cè)
檢測(cè)橡膠板間的接縫
建材板的厚度測(cè)量
檢測(cè)玻璃板厚度測(cè)量及遮罩板的高度測(cè)量(正反射型)
測(cè)量曝光設(shè)備上的曝光頭的高度(正反射型)