基板的平整度檢測
基板組件的高度檢測
檢測橡膠板間的接縫
建材板的厚度測量
檢測玻璃板厚度測量及遮罩板的高度測量(正反射型)
測量曝光設備上的曝光頭的高度(正反射型)