在190501-11-00-01 G08I01G3芝加哥召開(kāi)的關(guān)于固態(tài)傳感器與執(zhí)行器國(guó)際會(huì)議上發(fā)文章17，該文給出了種靜電驅(qū)動(dòng)的微繼電器，它們都是懸臂梁結(jié)構(gòu)。固定梁和帶有雙觸點(diǎn)的活動(dòng)梁作為繼電器的主要結(jié)構(gòu)。由于完全采用面微機(jī)械加工工藝，因而省去了器件粘接過(guò)程。在上述同會(huì)議上，013.；31汩山5等人發(fā)了為靜電型微繼電器的非線性機(jī)電行為的研究18.該文通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)靜電型多晶硅材料的微繼電器在半靜態(tài)和動(dòng)態(tài)情況下提出了新的非線性動(dòng)態(tài)模型。實(shí)驗(yàn)是在MIT的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行的。利用該模型對(duì)繼電器的吸合電壓響應(yīng)頻率品質(zhì)因數(shù)開(kāi)關(guān)時(shí)間以及靜電力對(duì)繼電器彈性部件軟化因素進(jìn)行了仿真。對(duì)吸合電壓的仿真采用的是MIT開(kāi)發(fā)調(diào)電感芯片的制作。這種微繼電器是采用丁35252雙金屬形變懸臂梁，接觸面為金金接觸，人1作犧牲層，靜電與熱作為至動(dòng)機(jī)制。在電感區(qū)域之下的硅襯底利用蝕刻工藝制作以減少襯底邊緣處190501-11-00-01 G08I01G3的電流損失。利用4只繼電器可獲得電感量在2.5nH到324.8，的16種電感值。最小的諧振頻率為1.90.實(shí)驗(yàn)測(cè)得吸合時(shí)最小的熱功率和電壓分別為。0.8，1以和20，接觸電阻典型值為0.6至0.8，范圍之內(nèi)。
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