在190501-11-00-01 G08I01G3芝加哥召開的關(guān)于固態(tài)傳感器與執(zhí)行器國際會議上發(fā)文章17，該文給出了種靜電驅(qū)動的微繼電器，它們都是懸臂梁結(jié)構(gòu)。固定梁和帶有雙觸點的活動梁作為繼電器的主要結(jié)構(gòu)。由于完全采用面微機械加工工藝，因而省去了器件粘接過程。在上述同會議上，013.；31汩山5等人發(fā)了為靜電型微繼電器的非線性機電行為的研究18.該文通過實驗對靜電型多晶硅材料的微繼電器在半靜態(tài)和動態(tài)情況下提出了新的非線性動態(tài)模型。實驗是在MIT的實驗室進行的。利用該模型對繼電器的吸合電壓響應頻率品質(zhì)因數(shù)開關(guān)時間以及靜電力對繼電器彈性部件軟化因素進行了仿真。對吸合電壓的仿真采用的是MIT開發(fā)調(diào)電感芯片的制作。這種微繼電器是采用丁35252雙金屬形變懸臂梁，接觸面為金金接觸，人1作犧牲層，靜電與熱作為至動機制。在電感區(qū)域之下的硅襯底利用蝕刻工藝制作以減少襯底邊緣處190501-11-00-01 G08I01G3的電流損失。利用4只繼電器可獲得電感量在2.5nH到324.8，的16種電感值。最小的諧振頻率為1.90.實驗測得吸合時最小的熱功率和電壓分別為。0.8，1以和20，接觸電阻典型值為0.6至0.8，范圍之內(nèi)。
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