本特利330130-040-00-00這種繼電器的操作電壓范圍可做到50200，且當可動陽極用鋁材料厚度為5 4時，電極自身是絕緣層。為將動作電壓降到1520，以下，還開發(fā)了種絕緣層厚度在0.51.0 4的器件。在另設計中，用帶有孤島的分立絕緣層取代了連續(xù)的絕緣層以防止出現(xiàn)很高的駐留電荷。如將絕緣層厚度降為O.lμm以下，可進步降低吸合電壓。在理論上，實現(xiàn)操作電壓達到500，是可能的。
本特利330130-040-00-00 種用于微機械繼電器的熱控制磁執(zhí)行器了它的動作是通過器件外激光束加熱而改變局部磁化強度來實現(xiàn)的。制作是通過面鍍鎳實現(xiàn)。用于驅(qū)動1的激光極管的功率是30mW.微繼電器的開關時間經(jīng)實驗測得為10mS，與傳統(tǒng)機械繼電器相當。經(jīng)計算觸點接觸力為20μN，這個力通過增加TCMA的尺寸可得以改善。
本特利330130-040-00-00 1997年5月傳感器與執(zhí)行器58卷尺66咖3.栳1等人發(fā)文為脈沖電流激勵的雙穩(wěn)態(tài)磁執(zhí)行器的設計與制作16.該文描述了種脈沖電流激勵的雙穩(wěn)態(tài)磁執(zhí)行器的設計與制作過程文中所述的執(zhí)行器包括個帶有雙極片的平面型導磁體，個導磁的懸臂梁，個激勵線圈和永久磁鐵。懸臂梁的運動有兩個穩(wěn)定狀態(tài)，即總是能與其中之保持接觸。通過流經(jīng)激勵線圈的脈沖電流切換懸臂梁的接觸狀態(tài)。該微執(zhí)行器采用紫外光刻技術合金蒸鍍工藝犧牲層蝕刻工藝進行制作的。開關脈沖電流施加在懸臂梁上的勵磁線圈產(chǎn)生的電磁力為5，懸臂梁端點處的接觸力可達0.25，1.
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