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測量原理：材料上下各用一個ZLDS10X激光位移傳感器測量。如圖：
ZTMS08在線測厚儀采用德國進口的激光位移傳感器，將激光束作為機械探針,利用電荷耦合器件來實現(xiàn)光電轉換。它將激光光源、光電檢測和計算機工業(yè)控制技術相結合,廣泛用于工業(yè)生產(chǎn)，能在生產(chǎn)線上對各種材料的厚度、寬度、輪廓進行實時測量。
其主要特點有：
◆ A05B-2518-C300#EMH 激光測厚儀ZTMS08測厚量程量身定制,最高精度0.5um；
◆ A05B-2518-C300#EMH 高速在線測量，最高測量值/秒；
◆  多點測量，一臺工控機可連接多個在線測厚儀；
◆  可連接生產(chǎn)線自動控制系統(tǒng)，實現(xiàn)閉環(huán)控制；
◆  可連接公司 內(nèi)部管理網(wǎng)絡，如企業(yè)資源計劃ERP；目標
    1 能夠精確地調(diào)整和保持半導體晶片在進行物理氣相沉淀（PVD）室中整齊排列。
    2 避免在進入沉淀室時，由于排列不整齊而造成晶片損壞。
    3 確保沉淀物統(tǒng)一地沉淀在晶片上。
解決方案
    微米位移傳感器在物理氣相沉淀系統(tǒng)中，晶片會被放入不同的沉淀室里，每一個沉淀室用來沉淀不同的物質(zhì)。傳感器被安裝在沉淀室的內(nèi)側（如圖所示）。每個傳感器測量載有晶片的傳送器在沉淀室中的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止超出系統(tǒng)可承受的范圍。
    結果：提高了時間和精度。
微米位移傳感器特點
     1 類型：SMT-9700
     2 非接觸性：應用渦電流的技術，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標體的位置。
     3 高分辨率：系統(tǒng)可識別
     4 重復性：  Kaman傳感器可以提供高精度的性能，可以反復用于物理氣相沉淀。
     5 系統(tǒng)多功能性：測量系統(tǒng)可以廣泛用于測量的各個領域。
微米位移傳感器解決方案
     在沉淀開始前，Kaman傳感器確保金屬盤與噴灑器保持平行的位置關系，噴灑器用來均勻噴射氣體(如圖所示)。傳感器則用來做校準裝置，這樣校準可以定位金屬盤在一個最合適的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止信號值超出可承受范圍。如果金屬盤傾斜，制動裝置將校正其位置。
 微米位移傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流傳感器能準確測量被測體（必須是金屬導體）與探頭端面之間靜態(tài)和動態(tài)的相對位移變化。
近幾年，政府不斷加大對基礎設施的投資，各地方的基礎和配套設施得到了根本的改善，路越來越寬、越來越平整、也越來越好

 

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