MDV60A0750-503-4-00“高密度等離子刻蝕機”是超大規(guī)模集成電路制造的核心工藝裝備，從100納米到28納米，北方微電子通過自主創(chuàng)新突破多項關(guān)鍵技術(shù)，填補了我國在集成電路高端核心裝備制造業(yè)的空白，為我國高端集成電路裝備的自主開發(fā)奠定了基礎(chǔ)。第四代32/28nm硅刻蝕機已于上月進入中芯國際上海TD工廠，年底前將完成28nmSTI工藝技術(shù)開發(fā)，并完成中芯國際北京二期擴產(chǎn)項目的產(chǎn)品技術(shù)驗證。
MDV60A0750-503-4-00 “全自動引線鍵合設(shè)備”則是極大規(guī)模集成電路封裝生產(chǎn)線后道工序最為重要和關(guān)鍵的設(shè)備，同時也是封裝生產(chǎn)線上需求量最大的設(shè)備，其重要性與難度可以與前道工序的光刻機相提并論。此前鍵合機全球每年約15000臺的需求量，國內(nèi)每年需求量近10000臺，但沒有一臺是國產(chǎn)設(shè)備。中電科繼在國內(nèi)首先研制成功試驗樣機后，又率先實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化的突破，在日前，接到了批量化訂單，為即將召開的黨的十八大獻上了一份厚禮！我國從“六五”計劃起就研制全自動引線鍵合機的征程終于有了一個可以預(yù)期的完美收尾。預(yù)計2013年，北京中電科公司將投產(chǎn)鍵合機500臺，實現(xiàn)產(chǎn)值1.8億元。
MDV60A0750-503-4-00 據(jù)悉，截至目前，開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成功打造了以諾基亞為龍頭的移動通訊產(chǎn)業(yè)集群、以京東方為龍頭的顯示器產(chǎn)業(yè)集群、以中芯國際為龍頭的集成電路產(chǎn)業(yè)集群，電子信息產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值去年占全市總值的比例達到50%。隨著中芯二期項目的實施、北方微電子、中電科集成電路裝備的規(guī)模化量產(chǎn)，必將進一步夯實開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，培育形成新的經(jīng)濟增長點。
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