MDV60A0750-503-4-00“高密度等離子刻蝕機”是超大規(guī)模集成電路制造的核心工藝裝備，從100納米到28納米，北方微電子通過自主創(chuàng)新突破多項關鍵技術，填補了我國在集成電路高端核心裝備制造業(yè)的空白，為我國高端集成電路裝備的自主開發(fā)奠定了基礎。第四代32/28nm硅刻蝕機已于上月進入中芯國際上海TD工廠，年底前將完成28nmSTI工藝技術開發(fā)，并完成中芯國際北京二期擴產(chǎn)項目的產(chǎn)品技術驗證。
MDV60A0750-503-4-00 “全自動引線鍵合設備”則是極大規(guī)模集成電路封裝生產(chǎn)線后道工序最為重要和關鍵的設備，同時也是封裝生產(chǎn)線上需求量最大的設備，其重要性與難度可以與前道工序的光刻機相提并論。此前鍵合機全球每年約15000臺的需求量，國內(nèi)每年需求量近10000臺，但沒有一臺是國產(chǎn)設備。中電科繼在國內(nèi)首先研制成功試驗樣機后，又率先實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化的突破，在日前，接到了批量化訂單，為即將召開的黨的十八大獻上了一份厚禮！我國從“六五”計劃起就研制全自動引線鍵合機的征程終于有了一個可以預期的完美收尾。預計2013年，北京中電科公司將投產(chǎn)鍵合機500臺，實現(xiàn)產(chǎn)值1.8億元。
MDV60A0750-503-4-00 據(jù)悉，截至目前，開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成功打造了以諾基亞為龍頭的移動通訊產(chǎn)業(yè)集群、以京東方為龍頭的顯示器產(chǎn)業(yè)集群、以中芯國際為龍頭的集成電路產(chǎn)業(yè)集群，電子信息產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值去年占全市總值的比例達到50%。隨著中芯二期項目的實施、北方微電子、中電科集成電路裝備的規(guī)模化量產(chǎn)，必將進一步夯實開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎，培育形成新的經(jīng)濟增長點。
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