1756-IF6I
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•一般兩相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器端子示意圖：
•FREE+，F(xiàn)REE-：脫機(jī)信號(hào)，步進(jìn)電機(jī)的沒有脈沖信號(hào)輸入時(shí)具有自鎖功能，也就是鎖住轉(zhuǎn)子不動(dòng)。而當(dāng)有脫機(jī)信號(hào)時(shí)解除自鎖功能，轉(zhuǎn)子處于自由狀態(tài)并且不響應(yīng)步進(jìn)脈沖。
•V+，GND：為驅(qū)動(dòng)器直流電源端子，也有交流供電類型。
•A+，A-，B+，B-分別接步進(jìn)電機(jī)的兩相線圈。
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AE RF Match Network 3155031-021A AMAT 0190-01402
AMAT Local RF Match 0010-08323 Rev.007
AMAT Top Local RF Match 0010-08322 Rev.002
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AMAT Quantum Leap III Ion Source IHC 0040-50527
Thermo Neslab DI Max Water To Water Chiller 0190-06335
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Kawasaki CCD Prealigner 3NS003S-C201 0190-17388
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Seiko Seiki Turbopump Controller SCU-H1000C STP-H1000C
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AE PDX 900-2V RF Generator 3156024-110A working 900W
