其中NL1-NL3為機(jī)械泵，ND1，ND2為擴(kuò)散泵，NZ1為羅茲泵．VP1-VP13為氣動(dòng)閥門(mén)，BW1-BW5為泵體冷卻器，PT1-BENTLY NEVADA 330854-040-24-05PT4，PA1，PA2。PA3為真空傳感器，PD1-PD3為壓力表。由機(jī)械泵NL1，NL2，NL3抽初級(jí)真空，NZ1抽中級(jí)真空，ND1，ND2抽高級(jí)真空。
3 PLC控制系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)步驟
(1BENTLY NEVADA 330854-040-24-05)制定真空爐運(yùn)行方案。根據(jù)熱處理工藝的要求，分析熱電偶、真空度等輸入?yún)?shù)與控制接觸器和固態(tài)繼電器等的輸出信號(hào)與各種操作之間的邏輯關(guān)系，確定需要檢測(cè)的量和控制的方法。并設(shè)計(jì)出真空爐系統(tǒng)中各設(shè)備的操作內(nèi)容和操作順序。據(jù)此可畫(huà)出流程圖。
(2)BENTLY NEVADA 330854-040-24-05畫(huà)抽真空和溫度控制流程圖。
(3)制定PLC控制系統(tǒng)的抗干擾措施，比如電源隔離、外圍電路的光電偶合。
(4)編寫(xiě)程序，根據(jù)被控對(duì)象輸入如熱電偶和輸出信號(hào)如控制固態(tài)繼電器的脈沖及所選定PLC型號(hào)，分配硬件資源，為梯形圖的各種繼電器或接點(diǎn)進(jìn)行編號(hào)，再按照技術(shù)說(shuō)明，用梯形圖進(jìn)行編程。
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