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產(chǎn)品簡介
ASML 4022.472.37721
ASML 4022.472.37721
產(chǎn)品價格：￥
上架日期：2025-02-18 20:40:01
產(chǎn)地：國外國外
發(fā)貨地：全國全國
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詳細說明

    ASML 4022.472.37721

    ASML 4022.472.37721

    ：技術(shù)參數(shù)與性能特點

    ASML作為全球領(lǐng)先的光刻設(shè)備供應(yīng)商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。本文將詳細介紹ASML 4022.472.37721這一型號設(shè)備的技術(shù)參數(shù)與性能特點，幫助讀者更好地了解其優(yōu)勢與應(yīng)用。

    基本信息

    ● 
    型號：ASML 4022.472.37721
    ● 
    類型：浸沒式光刻機
    ● 
    用途：用于先進集成電路制造，支持多種工藝節(jié)點

    核心技術(shù)參數(shù)

    1. 
    光源系統(tǒng)
    ○ 
    光源類型：ArF（準分子激光）
    ○ 
    波長：193nm
    ○ 
    光源功率：≥120W
    2. 
    投影系統(tǒng)
    ○ 
    數(shù)值孔徑（NA）：1.35
    ○ 
    分辨率：≤13nm
    ○ 
    套刻精度：≤1.5nm
    3. 
    工作臺系統(tǒng)
    ○ 
    運動精度：≤0.1nm
    ○ 
    最大加速度：≥10g
    ○ 
    最大速度：≥500mm/s
    4. 
    浸沒系統(tǒng)
    ○ 
    液體：去離子水
    ○ 
    溫度控制精度：≤0.01°C
    ○ 
    壓力控制精度：≤0.1mbar

    性能特點

    1. 
    高分辨率與套刻精度
    ○ 
    ASML 4022.472.37721采用先進的ArF光源與高數(shù)值孔徑投影系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)≤13nm的分辨率與≤1.5nm的套刻精度，滿足先進工藝節(jié)點的制造需求。
    2. 
    高速高精度運動控制
    ○ 
    工作臺系統(tǒng)具備高運動精度與加速度，能夠在短時間內(nèi)完成高精度曝光，提升生產(chǎn)效率。
    3. 
    穩(wěn)定的浸沒系統(tǒng)
    ○ 
    采用去離子水作為浸沒液體，結(jié)合高精度的溫度與壓力控制，確保曝光過程的穩(wěn)定性與一致性。
    4. 
    智能化控制系統(tǒng)
    ○ 
    集成先進的控制系統(tǒng)與算法，實時監(jiān)控與調(diào)整設(shè)備狀態(tài)，保障工藝的穩(wěn)定性和可靠性。

    應(yīng)用領(lǐng)域

    ● 
    先進邏輯芯片制造：支持7nm及以下工藝節(jié)點，滿足高性能計算、移動通信等領(lǐng)域的需求。
    ● 
    存儲芯片制造：應(yīng)用于DRAM、NAND Flash等存儲芯片的制造，提升存儲密度與性能。
    ● 
    其他高精度微電子制造：如MEMS、Power Device等領(lǐng)域。

    結(jié)語

    ASML 4022.472.37721作為一款高性能浸沒式光刻機，憑借其卓越的技術(shù)參數(shù)與性能特點，在全球半導(dǎo)體制造領(lǐng)域占據(jù)重要地位。其高分辨率、套刻精度以及穩(wěn)定的工作環(huán)境，為先進集成電路的制造提供了堅實保障。相信隨著技術(shù)的不斷進步，ASML將繼續(xù)光刻設(shè)備的發(fā)展潮流，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的繁榮做出更大貢獻。
    聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機：18596688429（微信同號）郵箱：841825244@qq.com


    ASML 4022.472.37721



























































































































































































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