ASML 4022.634.02252FSD 參數(shù)詳解 ASML 4022.634.02252FSD 是一款先進的光刻設(shè)備組件,以下為其詳細參數(shù)介紹,以便用戶全面了解其性能與特點。 基本參數(shù) ● 型號: ASML 4022.634.02252FSD ● 類型: 光刻設(shè)備核心組件 ● 制造商: ASML(荷蘭) ● 適用設(shè)備: 主要用于極紫外(EUV)光刻機 技術(shù)規(guī)格 ● 光源波長: 13.5納米(EUV) ● 分辨率: 支持高達7納米及以下工藝節(jié)點 ● 對準精度: 亞納米級,確保極高的圖案對準精度 ● 生產(chǎn)效率: 每小時可處理超過125片晶圓 ● 鏡頭數(shù)值孔徑(NA): 0.33,提供出色的成像質(zhì)量 物理特性 ● 尺寸: 約 1200毫米(長)x 800毫米(寬)x 600毫米(高) ● 重量: 約 1500千克 ● 工作溫度范圍: 20°C 至 25°C ● 工作濕度范圍: 30% 至 50% 性能特點 ● 高穩(wěn)定性: 采用先進的控制系統(tǒng),確保長時間運行中的高穩(wěn)定性。 ● 低能耗: 優(yōu)化的能源管理系統(tǒng),有效降低設(shè)備運行能耗。 ● 高精度: 集成了先進的測量與校正技術(shù),實現(xiàn)亞納米級的圖案轉(zhuǎn)移精度。 ● 高可靠性: 采用高質(zhì)量材料和嚴格的生產(chǎn)工藝,確保設(shè)備的高可靠性和長壽命。 兼容性與擴展性 ● 兼容性: 與ASML的多種EUV光刻機型號兼容,如NXE:3400B和NXE:3350B等。 ● 擴展性: 支持未來技術(shù)升級,可通過軟件和硬件更新提升性能和功能。 維護與支持 ● 維護周期: 建議每運行5000小時進行一次全面維護。 ● 技術(shù)支持: ASML提供全球范圍內(nèi)的專業(yè)技術(shù)支持和快速響應(yīng)服務(wù)。 ● 備件供應(yīng): 充足的備件庫,確保快速更換和維修。 應(yīng)用領(lǐng)域 ASML 4022.634.02252FSD 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別是在先進邏輯芯片和存儲芯片的生產(chǎn)中,為芯片制造商提供高精度的圖案轉(zhuǎn)移能力,助力實現(xiàn)更小、更快的芯片制造工藝。 通過以上參數(shù)介紹,可以看出ASML 4022.634.02252FSD在光刻技術(shù)領(lǐng)域的卓越性能和廣泛應(yīng)用前景。希望這些信息能為相關(guān)行業(yè)用戶和技術(shù)人員提供有價值的參考。 聯(lián)系人:吳經(jīng)理 手機:18596688429(微信同號)郵箱:841825244@qq.com
ASML 4022.634.02252FSD
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