ASML 4022.634.02252FSD
參數(shù)詳解
ASML 4022.634.02252FSD 是一款先進(jìn)的光刻設(shè)備組件，以下為其詳細(xì)參數(shù)介紹，以便用戶全面了解其性能與特點(diǎn)。
基本參數(shù)
●
型號(hào): ASML 4022.634.02252FSD
●
類型: 光刻設(shè)備核心組件
●
制造商: ASML（荷蘭）
●
適用設(shè)備: 主要用于極紫外（EUV）光刻機(jī)
技術(shù)規(guī)格
●
光源波長: 13.5納米（EUV）
●
分辨率: 支持高達(dá)7納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)
●
對(duì)準(zhǔn)精度: 亞納米級(jí)，確保極高的圖案對(duì)準(zhǔn)精度
●
生產(chǎn)效率: 每小時(shí)可處理超過125片晶圓
●
鏡頭數(shù)值孔徑（NA）: 0.33，提供出色的成像質(zhì)量
物理特性
●
尺寸: 約 1200毫米（長）x 800毫米（寬）x 600毫米（高）
●
重量: 約 1500千克
●
工作溫度范圍: 20°C 至 25°C
●
工作濕度范圍: 30% 至 50%
性能特點(diǎn)
●
高穩(wěn)定性: 采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)，確保長時(shí)間運(yùn)行中的高穩(wěn)定性。
●
低能耗: 優(yōu)化的能源管理系統(tǒng)，有效降低設(shè)備運(yùn)行能耗。
●
高精度: 集成了先進(jìn)的測(cè)量與校正技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的圖案轉(zhuǎn)移精度。
●
高可靠性: 采用高質(zhì)量材料和嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，確保設(shè)備的高可靠性和長壽命。
兼容性與擴(kuò)展性
●
兼容性: 與ASML的多種EUV光刻機(jī)型號(hào)兼容，如NXE:3400B和NXE:3350B等。
●
擴(kuò)展性: 支持未來技術(shù)升級(jí)，可通過軟件和硬件更新提升性能和功能。
維護(hù)與支持
●
維護(hù)周期: 建議每運(yùn)行5000小時(shí)進(jìn)行一次全面維護(hù)。
●
技術(shù)支持: ASML提供全球范圍內(nèi)的專業(yè)技術(shù)支持和快速響應(yīng)服務(wù)。
●
備件供應(yīng): 充足的備件庫，確保快速更換和維修。
應(yīng)用領(lǐng)域
ASML 4022.634.02252FSD 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是在先進(jìn)邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)中，為芯片制造商提供高精度的圖案轉(zhuǎn)移能力，助力實(shí)現(xiàn)更小、更快的芯片制造工藝。
通過以上參數(shù)介紹，可以看出ASML 4022.634.02252FSD在光刻技術(shù)領(lǐng)域的卓越性能和廣泛應(yīng)用前景。希望這些信息能為相關(guān)行業(yè)用戶和技術(shù)人員提供有價(jià)值的參考。
聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機(jī)：18596688429（微信同號(hào)）郵箱：841825244@qq.com
ASML 4022.634.02252FSD
