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真空泵主泵：在真空泵系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定的工藝需求的真空泵就是我們這里所講的主泵，例如我們常見(jiàn)的真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。而前級(jí)泵主要是用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵設(shè)備。例如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。③粗抽泵是指從大氣壓下開(kāi)始抽氣活動(dòng)，并且將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵機(jī)器。例如我們常見(jiàn)的真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵的一種。在維修過(guò)程中不管是何種真空泵出現(xiàn)了問(wèn)題，
