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產(chǎn)品簡介
等離子去光阻機(jī)
等離子去光阻機(jī)
產(chǎn)品價格:¥0
上架日期:2012-03-04 09:04:20
產(chǎn)地:山東招遠(yuǎn)
發(fā)貨地:山東招遠(yuǎn)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細(xì)說明
    采用電感耦合高密度等離子體(ICP),能快速去除晶圓上之殘留光阻,達(dá)到晶圓表面潔凈,具有蝕刻率高,無電極污染,離子能量低,不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。
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