德國UL1000檢漏儀UL-1000
INFICON UL1000型氦氣檢漏儀尤其適用于元器件精準(zhǔn)檢漏的要求：靈活性測試，高靈敏度，快速與精準(zhǔn)的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。
UL-1000符合微電子工業(yè)市場的要求。其特點(diǎn)從兼顧的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，至I.CAL*，無與倫比的，用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時(shí)間的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL-1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
Inbligent Calculation Algorithm of Leak rates智能化漏率計(jì)算機(jī)程序可提供UL-1000在10-12毫巴.升每秒范圍內(nèi)無比優(yōu)越的測速速度。使它成為真正有效的量程
