X、Y、Z軸行程±6.5mm,精度0.5μm,θX、θY、θZ移動(dòng)量±2.5°,分辨率29〃/格
產(chǎn)品高精度、高剛性、高品質(zhì),底座和臺(tái)面的材料采用特殊編號(hào)的硬質(zhì)鋁合金 材質(zhì)不受外界環(huán)境溫度變化,保證定位精度,穩(wěn)定性并無(wú)漂移情況產(chǎn)生。
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