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產(chǎn)品簡介
FONDA硅片研磨機|硅片研磨機精度|硅片研磨機操作
FONDA硅片研磨機|硅片研磨機精度|硅片研磨機操作
產(chǎn)品價格:¥0
上架日期:2011-12-16 17:16:02
產(chǎn)地:深圳
發(fā)貨地:深圳
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    方達研磨FONDA硅片研磨機|硅片研磨機精度|硅片研磨機,可對超薄硅片進行研磨拋光加工,最小可磨到厚度0.2mm的硅片不破碎,不塌邊,直徑最大可磨到450mm,可達完美的鏡面效果,光潔度最高0.2nm。歡迎免費試樣:www.szfangda.cn www.szfangda.com.cn
    1.通常研磨盤修面的方式是采用電鍍修整輪來修面,這種方式得到的修面不太理想,通過修整機構(gòu)修面后,平面度可達到±0.002mm2.系列研磨機工件加壓采用氣缸加壓的方式,壓力可調(diào);3.系列硅片研磨機采用PLC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板,研磨盤轉(zhuǎn)速與定時可直接在觸摸屏上輸入。
    技術(shù)參數(shù):
    型號   YM-15LX   YM-18LX   YM-20LX   YM-24LX
    研磨盤規(guī)格   φ380×φ140×12t    φ460×φ140×12t   φ510×φ160×12t      φ610×φ180×12t
    最大工件尺寸 φ130mm          φ170mm          φ190mm          φ230mm
    陶瓷修正輪規(guī)格φ178mm*φ140mm3個   φ220mm*φ180mm3個    φ240mm*φ200mm3個      φ280mm*φ240mm3個
    研磨盤轉(zhuǎn)速 0~200rpm  0~200rpm         0~180rpm        0~160rpm
    定時范圍 99分59秒   99分59秒         99分59秒  99分59秒
    主電機功率     1.5kw.380V3相       1.5kw.380V3相        2.2kw.80V3相           3.7kw.380V3相 
    修面電機功率   0.1kw.380V3相       0.1kw.380V3相       0.2kw.380V3相          0.2kw.380V3相
    修面速度      0---250mm/分鐘      0---250mm/分鐘       0---250mm/分鐘          0---250mm/分鐘
    外形尺寸     750*1200*1550mm        800*1250*1550        950*1480*1600          1050*1600*1700
    重量   850kg         1100kg           1300kg             1800kg
    1.本硅片研磨機為精密研磨拋光設備,被磨、拋材料放于研磨盤上,研磨盤逆時鐘轉(zhuǎn)動,修正輪帶動工件自轉(zhuǎn),重力加壓的方式對工件施壓,工件與研磨盤作相對運轉(zhuǎn)磨擦,來達到研磨拋光目的。2.研磨盤修整機構(gòu)采用油壓懸浮導軌前后往復運動,金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行精密修整,得到理想的平面效果。
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    深圳市方達研磨技術(shù)有限公司
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