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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SpecEI 橢偏儀 北京德東科技有限公司
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上架日期:2011-12-14 10:03:28
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詳細(xì)說(shuō)明

    SpecEl 橢偏儀


    SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光,進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測(cè)量。

    集成的精確測(cè)量系統(tǒng)

    SpecEl由一個(gè)集成的光源,一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。

    SpecEl可通過(guò)電話問(wèn)價(jià)。

    SpecEl軟件及Recipe配置文件

    通過(guò)SpecEI軟件,你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析,所有的配置會(huì)被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后,你可以選擇不同的recipe來(lái)執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。

    SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來(lái)計(jì)算厚度,折射率及吸光率。

    配置說(shuō)明

    波長(zhǎng)范圍: 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選)
    光學(xué)分辨率: 4.0 nm FWHM
    測(cè)量精度: 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
    入射角: 70°
    膜厚: 單透明膜1-5000 nm
    光點(diǎn)尺寸: 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選)
    采樣時(shí)間: 3-15s (最小)
    動(dòng)態(tài)記錄: 3 seconds
    機(jī)械公差 (height): +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
    膜層數(shù): 至多32層
    參考: 不用
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