[發(fā)明公布] YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng)
YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng)，涉及毛細(xì)管放電極紫外光刻光源中等離子狀態(tài)檢測。本發(fā)明解決了極紫外光刻光源等離子體常規(guī)檢測方法價(jià)格昂貴，使用條件苛刻的問題，提出了YAG:Ce熒光屏實(shí)現(xiàn)毛細(xì)管放電極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)檢測系統(tǒng)。本發(fā)明的毛細(xì)管的中心線與聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)位于同一直線上，可見光CCD圖像傳感器設(shè)置在聚焦系統(tǒng)的焦點(diǎn)處，毛細(xì)管發(fā)出的極紫外光入射到Y(jié)AG:Ce熒光屏上，YAG:Ce熒光屏將該極紫外光轉(zhuǎn)換為可見光，并入射到聚焦系統(tǒng)，經(jīng)聚焦系統(tǒng)聚焦后入射到可見光CCD圖像傳感器的光敏面上，形成光斑，可見光CCD圖像傳感器將采集到的光斑通過圖像輸出端輸入到計(jì)算機(jī)。本發(fā)明適用于極紫外光刻光源等離子體狀態(tài)的檢測。
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