設備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光 電器件、光導纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。
設備特點：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術指標：
★ 爐管數(shù)： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±
760～
★ 單點穩(wěn)定性： ±
±
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制： 浮子/質量流量計
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min
最大行程：
定位精度：±
最大載荷：
★ 超凈工作臺： 凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音： ≤62dB（A）
振動： ≤3μm
