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產(chǎn)品簡介
供應(yīng)ESC靜電卡盤 E-CHUCK 靜電吸盤
供應(yīng)ESC靜電卡盤 E-CHUCK 靜電吸盤
產(chǎn)品價(jià)格:¥10000
上架日期:2021-04-02 08:22:33
產(chǎn)地:廣東中山市
發(fā)貨地:廣東中山市
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1個
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詳細(xì)說明

    ESC靜電卡盤

    靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù);靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù);靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。

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