光致熒光光譜測(cè)量是半導(dǎo)體材料特性表征的一個(gè)被普遍認(rèn)可的重要測(cè)量手段。MiniPL為模塊化設(shè)計(jì)、計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制的高靈敏度、寬帶隙小型PL（光致熒光）光譜儀；MiniPL采用Photon Systems公司自行研發(fā)的深紫外激光器224nm(5.5eV)或248.6nm(5eV)作為激發(fā)光源，配合獨(dú)特的光路設(shè)計(jì)，采用高靈敏度PMT作為探測(cè)器件，并通過儀器內(nèi)置的門閘積分平均器（Boxcar）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)微弱脈沖信號(hào)的檢測(cè)。MiniPL可被用表征半導(dǎo)體材料摻雜水平分析、合成組分分析、帶隙分析等，不僅可用于科研領(lǐng)用，更可用在半導(dǎo)體LED產(chǎn)業(yè)中的品質(zhì)檢測(cè)。
| 主要規(guī)格特點(diǎn)： ■ 采用5.5(224nm)或5.0 eV(248.6nm)深紫外激光器 ■ 室溫PL光譜測(cè)量范圍：190~650nm（標(biāo)準(zhǔn)），190~850nm（選配） ■ 高分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵，標(biāo)配）， 0.07nm（@3600g/mm光柵，選配） ■ 門閘積分平均器（Boxcar）進(jìn)行微弱脈沖信號(hào)的檢測(cè) ■ 可實(shí)現(xiàn)量子效率測(cè)量 ■ 基于LabView的界面控制 ■ 光譜分析軟件可獲得光譜帶寬、峰值波長(zhǎng)、峰值副瓣鑒別、光譜數(shù)據(jù)運(yùn)算、歸一化等 ■ 最大可測(cè)量50mm直徑樣品，樣品可實(shí)現(xiàn)XYZ三維手動(dòng)調(diào)整（標(biāo)準(zhǔn)） ■ 可選配自動(dòng)樣品掃描裝置，實(shí)現(xiàn)Mapping功能 ■ 可用于紫外拉曼光譜測(cè)量 ■ 高度集成化，體積：15 ×18 × 36cm，重量：<8kg |
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產(chǎn)品列表 |
型號(hào) |
規(guī)格描述 |
MiniPL 5.0eV |
NeCu激光器(248.6nm),三維手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)，單光柵 |
MiniPL 5.5eV |
HeAg激光器(224.0nm) ,三維手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)，單光柵 |
升級(jí)選項(xiàng) |
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光電倍增管選項(xiàng) |
升級(jí)為190-850nm |
光柵選項(xiàng) |
增加第二塊光柵（3600g/mm） |
Mapping功能選項(xiàng) |
升級(jí)為X-Y自動(dòng)掃描樣品臺(tái) |
低溫制冷選項(xiàng) |
4K，6.5K，10K低溫制冷樣品室，低震動(dòng)設(shè)計(jì)，振幅小于5nm （選配低溫選項(xiàng)時(shí)不能同時(shí)進(jìn)行Mapping測(cè)量） |
AlGaN光致發(fā)光光譜及PL Mapping光譜（含3D圖譜），樣品尺寸：直徑50mm（樣品由客戶提供）
