光致熒光光譜測量是半導(dǎo)體材料特性表征的一個被普遍認(rèn)可的重要測量手段。MiniPL為模塊化設(shè)計、計算機自動控制的高靈敏度、寬帶隙小型PL（光致熒光）光譜儀；MiniPL采用Photon Systems公司自行研發(fā)的深紫外激光器224nm(5.5eV)或248.6nm(5eV)作為激發(fā)光源，配合獨特的光路設(shè)計，采用高靈敏度PMT作為探測器件，并通過儀器內(nèi)置的門閘積分平均器（Boxcar）進行數(shù)據(jù)處理，實現(xiàn)微弱脈沖信號的檢測。MiniPL可被用表征半導(dǎo)體材料摻雜水平分析、合成組分分析、帶隙分析等，不僅可用于科研領(lǐng)用，更可用在半導(dǎo)體LED產(chǎn)業(yè)中的品質(zhì)檢測。
| 主要規(guī)格特點： ■ 采用5.5(224nm)或5.0 eV(248.6nm)深紫外激光器 ■ 室溫PL光譜測量范圍：190~650nm（標(biāo)準(zhǔn)），190~850nm（選配） ■ 高分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵，標(biāo)配）， 0.07nm（@3600g/mm光柵，選配） ■ 門閘積分平均器（Boxcar）進行微弱脈沖信號的檢測 ■ 可實現(xiàn)量子效率測量 ■ 基于LabView的界面控制 ■ 光譜分析軟件可獲得光譜帶寬、峰值波長、峰值副瓣鑒別、光譜數(shù)據(jù)運算、歸一化等 ■ 最大可測量50mm直徑樣品，樣品可實現(xiàn)XYZ三維手動調(diào)整（標(biāo)準(zhǔn)） ■ 可選配自動樣品掃描裝置，實現(xiàn)Mapping功能 ■ 可用于紫外拉曼光譜測量 ■ 高度集成化，體積：15 ×18 × 36cm，重量：<8kg |
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產(chǎn)品列表 |
型號 |
規(guī)格描述 |
MiniPL 5.0eV |
NeCu激光器(248.6nm),三維手動調(diào)節(jié)樣品臺，單光柵 |
MiniPL 5.5eV |
HeAg激光器(224.0nm) ,三維手動調(diào)節(jié)樣品臺，單光柵 |
升級選項 |
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光電倍增管選項 |
升級為190-850nm |
光柵選項 |
增加第二塊光柵（3600g/mm） |
Mapping功能選項 |
升級為X-Y自動掃描樣品臺 |
低溫制冷選項 |
4K，6.5K，10K低溫制冷樣品室，低震動設(shè)計，振幅小于5nm （選配低溫選項時不能同時進行Mapping測量） |
AlGaN光致發(fā)光光譜及PL Mapping光譜（含3D圖譜），樣品尺寸：直徑50mm（樣品由客戶提供）
