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產(chǎn)品簡介
氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器,日本進(jìn)口氣體質(zhì)量流量
氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器,日本進(jìn)口氣體質(zhì)量流量
產(chǎn)品價格:¥1
上架日期:2011-10-21 00:47:56
產(chǎn)地:日本原裝進(jìn)口
發(fā)貨地:上海
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細(xì)說明

    氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器
    氣體質(zhì)量流量控制器因有控制器精度高,重復(fù)性好,反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體,CVD,擴(kuò)散,真空鍍膜,色譜、光纖
    煉,分析儀器,燃料電池,液晶屏,有機(jī)EL,生物工程,等離子蝕刻,環(huán)境測試,燃燒氣體控制,試驗設(shè)備,焊接,微應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個環(huán)節(jié)、各個制造過程中的流量控制。氣體質(zhì)量流量控制器所用的傳感器是熱式流量傳感器,熱式質(zhì)量流量計是利用傳熱原理,即流動中的流體與熱源(流體中加熱的物體或測量管外加熱體)之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。

    工作原理
    流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號
    送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓/電流進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。控制器輸出的流量栓檢測電壓/電流與流過通道的質(zhì)量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電為+5V或20MA。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S ( 程比為50:1 ),流量分辨率是0.1% F.S。

    品牌:日本小島KOFLOC(創(chuàng)立于1949年),氣體質(zhì)量流量控制器
    型號:3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
    類型:MFC氣體流量控制器/質(zhì)量流量計
    控制范圍:0.02ML—1000L/MIN
    精度等級:0.2%FS—1.5%FS
    響應(yīng)速度:0.5-1秒
    適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕和有毒氣體)
    模擬信號:0-5V、4-20MA(可選)
    氣路密封:氟橡膠、全金屬密封等等
    氣路連接:1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR
    工作壓差:2KPA—300KPA(同行業(yè)中可做到的最小壓差)
    氣路材質(zhì):SUS316
    通信接口:RS-485、RS-232
    產(chǎn)品氣密:1×10-11Pa·m3/s 或 1×10-8Pa·m3/s
    耐壓:1.0Mpa(常壓)、3.4-6.8MPa(高壓大流量)
    電壓:24V、±15V

    特點:
    1:另外配有LED數(shù)字顯示,產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕,極其容易操作(另有分體式可選擇,顯示操作部分和控
    制器部分可分離)
    2:氣體質(zhì)量流量控制器也可配置手動旋鈕式調(diào)節(jié)針閥,從而來時時調(diào)節(jié)流量大小(3810DS系列—低價格)
    3:氣體質(zhì)量流量控制器采用直接質(zhì)量流量測量,因此實現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量
    4:氣體質(zhì)量流量控制器配有RS-485/232接口,能于其他外部設(shè)備實現(xiàn)通訊
    5:氣體質(zhì)量流量控制器裝備自動調(diào)零功能,內(nèi)裝微處理器,達(dá)到高功能化
    6:高分辨能力(14位以上),通過采用AD、DA,能夠達(dá)到高精度應(yīng)對
    7:氣體質(zhì)量流量控制器能夠設(shè)定裝置編號;通過CF值應(yīng)對氣體種類

    小島KOFLOC還有《轉(zhuǎn)子、浮子流量計/控制器》、《比例電磁閥》、《精密針閥》等等...
    歡迎來電咨詢

    柯先生 012-51863181 18616335251  keyong0519@163.com

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