Renishaw雷尼紹XM-60多光束激光干涉儀北京
只需一次設(shè)定即可在任意方向測(cè)量6個(gè)自由度!
獨(dú)特的技術(shù)、光學(xué)滾擺測(cè)量以及光纖發(fā)射器
XM-60是一款激光測(cè)量系統(tǒng),只需一次設(shè)定即可沿線性軸同時(shí)測(cè)量6個(gè)自由度的誤差。它具有強(qiáng)大的診斷工具,通過(guò)一次采集就可以測(cè)量軸的所有幾何誤差。
對(duì)于執(zhí)行空間補(bǔ)償?shù)挠脩魜?lái)說(shuō),XM-60為他們獲得所需數(shù)據(jù)組提供了一種快速精準(zhǔn)的方法。所有測(cè)量均為光學(xué)測(cè)量,可在任意方向執(zhí)行。
主要特性與優(yōu)點(diǎn):
·快速 — 利用傳統(tǒng)激光技術(shù),一次安裝即可同時(shí)測(cè)量線性、俯仰、
扭擺、滾擺、水平方向和垂直方向直線度。
·簡(jiǎn)單 — 設(shè)定簡(jiǎn)單,其他干涉儀系統(tǒng)使用者很快就能熟練使用。自
動(dòng)檢測(cè)軸的正負(fù)方向和圖形準(zhǔn)直減少了人為誤差。
·可靠 — 直接測(cè)量所有誤差,允許用戶在測(cè)試過(guò)程中查看結(jié)果。
·強(qiáng)大 — 獨(dú)特的光學(xué)滾擺測(cè)量系統(tǒng)能夠在任一方向執(zhí)行滾擺測(cè)量。
概述
輕型發(fā)射器通過(guò)光導(dǎo)纖維遠(yuǎn)離發(fā)熱的激光源,從而減少測(cè)量點(diǎn)處的熱影響。發(fā)射器可直接通過(guò)其側(cè)面甚至后面安裝到機(jī)器上或者上下倒置安裝,非常適用于難以接近的機(jī)器區(qū)域。
接收器可進(jìn)行完全無(wú)線操作,由充電電池供電,從而在機(jī)器移動(dòng)中避免電纜拖拽,因?yàn)樵跍y(cè)量過(guò)程中電纜拖拽可能會(huì)引起誤差或激光束“斷光”。
XM-60隨附CARTO 2.0軟件包,可指導(dǎo)用戶完成測(cè)量過(guò)程。CARTO包括Capture(數(shù)據(jù)采集)和Explore(數(shù)據(jù)瀏覽)應(yīng)用,可按照國(guó)際上各種主要標(biāo)準(zhǔn)提供數(shù)據(jù)采集和分析功能。
性能技術(shù)指標(biāo):
1、線性
測(cè)量精度:±0.5 ppm(使用環(huán)境補(bǔ)償)
分辨率:1 nm
測(cè)量范圍:0 m至4 m
2、角度(俯仰/扭擺)
精度:±0.006A ±(0.5微弧度 +0.1M微弧度)
(M = 測(cè)量的距離,單位:米)
(A = 顯示的角度讀數(shù))
分辨率:0.03微弧度
測(cè)量范圍:±500微弧度
3、直線度
測(cè)量精度:±0.01A ±2 μm
(A = 顯示的直線度讀數(shù))
分辨率:0.25 μm
測(cè)量范圍;250 μm(半徑)
4、滾擺
精度:±0.01A ±9.1微弧度
(A = 顯示的角度讀數(shù))
分辨率:0.5微弧度
測(cè)量范圍:±500微弧度
注:精度值指標(biāo)為95%的統(tǒng)計(jì)置信度 (k=2)。精度值不包括將材料溫度歸一化為20 °C時(shí)與其有關(guān)的誤差。