ABL1000氣浮平臺
1 專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3 閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器)
4 全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5 低噪音線性放大器
6 全部非接觸設(shè)計(jì)
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重復(fù)定位精度 ±0.05 um
直線度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um
ABL3600氣浮平臺
1 專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨(dú)特應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3 非接觸直線編碼器反饋,精度高
4 雙直線電機(jī)驅(qū)動X Y 軸
5 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±1 um
ABL8000氣浮平臺
1 專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性極好
3 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4 行程達(dá)1米
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um
ABL9000氣浮平臺
1 世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2 所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3 行程達(dá)1.2米X1.2米
4 Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 主動控制偏轉(zhuǎn)
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.10 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um
AHL9000直線電機(jī)平臺
1 專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2 掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3 行程達(dá)1.2米X1.2米
4 雙直線電機(jī)驅(qū)動步進(jìn)軸
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um
ABG10000氣浮平臺
1 氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動
2 所有軸都預(yù)加載荷
3 下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動
3 行程達(dá)1 m x 1 m
4 非接觸直線編碼器(光柵)
5 可選Z 軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6 適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測．
Travel 行程 ≤1000 mm
Accuracy 精度 ±2.0 um
Load 負(fù)載 84 kg
FiberCouple 130平臺
1 同一條導(dǎo)軌上兩個運(yùn)動平臺
2 獨(dú)立或并列運(yùn)動
3 2.5nm分辨率
4 非接觸直線電機(jī)驅(qū)動
5 交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
6 適合輔助軸
VascuLathe ACS/ASR
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4 先進(jìn)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項(xiàng)專利Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956
LaserTurn
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)
PlanarHD氣浮平臺
1 最大2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2 最快的轉(zhuǎn)向和最小的穩(wěn)定時間
3 主動偏轉(zhuǎn)控制
4 直線光柵或激光干涉儀反饋
5 行程1.2 m x 1.2 m
行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重復(fù)定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm
APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺
1 滿足安全，國防建設(shè)和監(jiān)測全球市場的需要
2 把先進(jìn)的高精密機(jī)械與業(yè)界領(lǐng)先的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3 慣性穩(wěn)定
4 包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360 °
5 高定位精度和速度性能
6 易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7 低維護(hù)，高可靠性提供最低的擁有成本
平轉(zhuǎn)： 最高速度180 ° /秒，持續(xù)360 °
傾斜： 最高速度180 ° /秒，范圍為± 95 °
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度： 120弧秒
有效載荷： 35公斤
