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產(chǎn)品簡介
ASML 4022.428.11000
產(chǎn)品價格:¥545.00元/件
上架日期:2025-03-31
發(fā)貨地:福建 寧德市
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1件
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詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌ASML型號4022.428.11000
    結(jié)構(gòu)形式模塊式安裝方式現(xiàn)場安裝
    LD指令處理器硬PLC加工定制

    ASML 4022.428.11000 

    ASML 4022.428.11000 

    ASML 4022.428.11000 

    設備參數(shù)詳解

    ASML 4022.428.11000是ASML公司生產(chǎn)的一款先進的半導體制造設備,專為高精度芯片制造而設計。以下是該設備的詳細參數(shù)介紹:

    基本參數(shù)

    ● 
    型號:ASML 4022.428.11000
    ● 
    類型:光刻機
    ● 
    制造商:ASML(荷蘭)
    ● 
    適用工藝:極紫外(EUV)光刻技術

    技術規(guī)格

    ● 
    光源波長:13.5納米,采用極紫外(EUV)光源,能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率和更小的線寬。
    ● 
    分辨率:支持7納米及以下工藝節(jié)點的芯片制造,具備出色的圖案分辨率能力。
    ● 
    套刻精度:具有極高的套刻精度,確保多層圖案的對準誤差最小化。
    ● 
    生產(chǎn)效率:每小時可處理多達125片晶圓,顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)出量。

    光學系統(tǒng)

    ● 
    鏡頭類型:采用高數(shù)值孔徑(NA)鏡頭,確保光刻過程中的高成像質(zhì)量。
    ● 
    數(shù)值孔徑(NA):高達0.33,有助于提升分辨率和焦深。
    ● 
    照明系統(tǒng):配備先進的照明系統(tǒng),提供均勻且穩(wěn)定的光源分布。

    機械與物理參數(shù)

    ● 
    尺寸:設備體積龐大,長×寬×高約為20米×5米×4.5米,需安裝在特定的潔凈室環(huán)境中。
    ● 
    重量:約180噸,需要穩(wěn)固的基礎設施來支撐。
    ● 
    功耗:運行功率較高,以確保設備的高效穩(wěn)定運行。

    控制系統(tǒng)

    ● 
    自動化程度:高度自動化,集成了先進的控制系統(tǒng)和軟件,實現(xiàn)智能化操作和監(jiān)控。
    ● 
    數(shù)據(jù)處理能力:具備強大的數(shù)據(jù)處理能力,能夠快速處理復雜的圖案數(shù)據(jù)。
    ● 
    接口:支持多種通信接口,便于與其他設備和系統(tǒng)進行集成。

    環(huán)境要求

    ● 
    溫度控制:需在恒溫環(huán)境下運行,溫度波動范圍需控制在±0.1°C以內(nèi)。
    ● 
    濕度控制:濕度需保持在低水平,以確保設備的穩(wěn)定運行和防止靜電干擾。
    ● 
    潔凈度:要求極高的潔凈度等級,通常在ISO Class 1級別。

    安全與維護

    ● 
    安全防護:設備配備了完善的安全防護系統(tǒng),包括緊急停止按鈕、安全防護欄等,確保操作人員的安全。
    ● 
    維護保養(yǎng):需要定期進行維護和保養(yǎng),以確保設備的長期穩(wěn)定運行和延長使用壽命。
    ASML 4022.428.11000作為一款頂尖的光刻設備,其卓越的性能和參數(shù)指標為半導體制造業(yè)的發(fā)展提供了強有力的支持。通過深入了解這些參數(shù),可以更好地理解該設備在芯片制造過程中的重要性和優(yōu)勢。
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