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產(chǎn)品簡介
ASML 4022.470.6291進口
產(chǎn)品價格：￥654.00元/件
上架日期：2025-03-31
發(fā)貨地：福建 寧德市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1件
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詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌ASML型號4022.470.6291進口
    結(jié)構(gòu)形式模塊式安裝方式現(xiàn)場安裝
    LD指令處理器硬PLC加工定制否

    ASML 4022.470.6291進口

    ASML 4022.470.6291進口

    ASML 4022.470.6291進口

    參數(shù)詳解

    ASML 4022.470.6291是ASML公司生產(chǎn)的一款關(guān)鍵設(shè)備組件，被廣泛應(yīng)用于半導體制造領(lǐng)域。以下是該組件的主要參數(shù)介紹：

    基本參數(shù)

    ● 
    型號：ASML 4022.470.6291
    ● 
    類型：光學系統(tǒng)組件
    ● 
    尺寸：約320mm x 240mm x 150mm（具體尺寸可能因版本而異）
    ● 
    重量：約5.2公斤
    ● 
    工作電壓：24V DC
    ● 
    功耗：最大50W

    光學性能

    ● 
    波長范圍：193nm（深紫外光）
    ● 
    數(shù)值孔徑：0.93
    ● 
    分辨率：支持45nm及以下工藝節(jié)點
    ● 
    透過率：大于95%
    ● 
    光學均勻性：優(yōu)于99.5%

    環(huán)境要求

    ● 
    工作溫度：20°C至25°C
    ● 
    存儲溫度：-20°C至60°C
    ● 
    濕度范圍：20%至80% RH（無凝露）
    ● 
    潔凈度等級：ISO Class 5（相當于舊標準的Class 100）

    機械性能

    ● 
    抗震性：可承受最大1.0G的加速度
    ● 
    安裝方式：模塊化安裝，支持快速更換
    ● 
    連接接口：標準光纖接口及電氣接口

    兼容性

    ● 
    設(shè)備兼容：主要適用于ASML的TWINSCAN系列光刻機，具體型號包括TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1950i等。
    ● 
    軟件兼容：支持ASML的YieldStar、ASML Brion等軟件平臺，確保無縫集成和高效運行。

    其他特性

    ● 
    冷卻系統(tǒng)：內(nèi)置高效冷卻系統(tǒng)，確保長時間穩(wěn)定運行
    ● 
    壽命：設(shè)計使用壽命超過10,000小時
    ● 
    維護要求：定期清潔和校準，建議每6個月進行一次全面維護
    ASML 4022.470.6291憑借其卓越的光學性能、穩(wěn)定的機械特性以及高度的兼容性，成為半導體制造過程中不可或缺的一部分。其高分辨率和大透過率確保了芯片制造的高精度和高效率，為半導體行業(yè)的發(fā)展提供了重要支持。

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