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ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模

ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模

ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模參數(shù)詳解ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模塊是半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一款重要組件，其優(yōu)越的性能和穩(wěn)定的輸出使其在微電子行業(yè)中備受青睞。以下是該激光器模塊的詳細(xì)參數(shù)介紹：基本參數(shù)型號(hào)：ASML 4022.472.42583類(lèi)型：固態(tài)激光器波長(zhǎng)：355 nm功率范圍：50 W 至 150 W（可根據(jù)具體需求調(diào)節(jié)）工作電壓：220 VAC ±10%工作電流：20 A 至 30 A尺寸：450 mm × 350 mm × 200 mm（長(zhǎng) × 寬 × 高）重量：約 25 kg光學(xué)性能參數(shù)光束質(zhì)量：M2 < 1.2，確保高質(zhì)量的光束聚焦效果光束發(fā)散角：< 0.5 mrad光斑直徑：在聚焦位置處可達(dá)到 < 20 μm偏振態(tài)：線(xiàn)偏振，偏振度 > 99%穩(wěn)定性：功率穩(wěn)定性?xún)?yōu)于 ±2% RMS，長(zhǎng)時(shí)間工作下保持穩(wěn)定輸出熱管理參數(shù)冷卻方式：水冷系統(tǒng)，確保激光器在高功率工作下保持低溫運(yùn)行冷卻液溫度范圍：15°C 至 25°C冷卻液流量：≥ 5 L/min熱耗散功率：約 1.5 kW控制與接口控制方式：通過(guò)數(shù)字控制接口實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和監(jiān)控通信接口：以太網(wǎng)、RS-232 和 GPIB 接口，便于與其他設(shè)備集成觸發(fā)模式：支持內(nèi)部觸發(fā)和外部觸發(fā)，靈活適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)景反饋機(jī)制：內(nèi)置功率監(jiān)測(cè)和反饋系統(tǒng)，實(shí)時(shí)調(diào)整輸出穩(wěn)定性環(huán)境要求工作溫度：15°C 至 35°C工作濕度：20% 至 80% RH（無(wú)凝露）存儲(chǔ)溫度：-20°C 至 60°C存儲(chǔ)濕度：10% 至 90% RH（無(wú)凝露）安全特性防護(hù)等級(jí)：IP54，防塵防水安全認(rèn)證：符合 CE、FDA 和 IEC 60825-1 標(biāo)準(zhǔn)，確保使用安全保護(hù)機(jī)制：過(guò)溫保護(hù)、過(guò)流保護(hù)、欠壓保護(hù)等多重保護(hù)機(jī)制其他特性使用壽命：大于 20,000 小時(shí)，減少更換頻率，提高設(shè)備利用率維護(hù)需求：模塊化設(shè)計(jì)，便于拆卸和維護(hù)，降低維護(hù)成本ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模塊憑借其穩(wěn)定的性能、高效的光束質(zhì)量和可靠的安全特性，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備以及其他高精度加工設(shè)備中。通過(guò)詳細(xì)了解其參數(shù)，用戶(hù)可以更好地將該激光器模塊應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。