| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | MPlanApo5X/10X/20XNIR |
| 類型 | 其他 | 儀器最大放大倍數(shù) | 100 |
| 目鏡放大倍數(shù) | 10 | 物鏡放大倍數(shù) | 0.7-4.5 |
| 用途 | 其他 | 裝箱數(shù) | 1 |
| 加工定制 | 否 | 外形尺寸 | 其他 |
| 重量 | 0.5KG | 規(guī)格 | 110*108 |
| 產(chǎn)地 | 其他 | ||
尼康干涉物鏡5X/10X/20X/50X/100X參數(shù)
尼康干涉物鏡5X/10X/20X/50X/100X參數(shù)
尼康50X相干涉物鏡有貨
干涉測(cè)量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備上，通過(guò)此鏡頭可得到表面位圖和表面測(cè)量參數(shù)等。也可用來(lái)檢測(cè)表面粗糙度，測(cè)量精度非常高，在一個(gè)波長(zhǎng)之內(nèi)。一束光通過(guò)分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過(guò)再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來(lái)，Michelson鏡頭擁有更長(zhǎng)的工作距離，更寬的視場(chǎng)和更大的焦深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場(chǎng)合。采用Nikon200mm鏡筒的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機(jī)上。
品名型號(hào) 產(chǎn)品號(hào) 放大率 數(shù)字孔徑(NA)
50xNikon相干測(cè)量物鏡 59-314 50X 0.55
焦深(μm) 視場(chǎng),1/2" 傳感器
0.9 FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm
視場(chǎng), 2/3" 傳感器
(FOV, 2/3" Sensor)
0.18 x 0.13mm
視場(chǎng)，20直徑視場(chǎng)目鏡(mm)0.22
視場(chǎng)，25直徑視場(chǎng)目鏡(mm)0.5
焦距FL (mm)4.0
生產(chǎn)商N(yùn)ikon
安裝螺紋RMS
分辨能力 (μm)0.5
類型Mirau
重量 (g)150.00
工作距離WD (mm)3.4
干涉物鏡
2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（數(shù)值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光學(xué)分辨率 藍(lán)光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光學(xué)分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT 0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm
垂直范圍PSI(mm) 5mm
垂直范圍ePSI(mm) 100mm
垂直范圍VSI(mm) 10mm
掃描速率（mm/s） PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s
一般測(cè)量時(shí)間（s）9 PSI：3s VSI：10s ePSI：30s
