攜手同行日喀則仁布新能源實驗室氣路安裝團(tuán)隊
氣路工程施工流程需遵循科學(xué)規(guī)范的步驟，從前期規(guī)劃到后期驗收環(huán)環(huán)相扣，確保系統(tǒng)安全可靠。以下是核心流程解析：
一、前期籌備階段
1. 需求調(diào)研與方案設(shè)計
- 明確用氣場景（實驗室、工業(yè)生產(chǎn)等）、氣體種類（如氧氣、氫氣、特種氣體）、流量、壓力及純度要求。
- 結(jié)合場地布局（建筑結(jié)構(gòu)、空間尺寸）規(guī)劃氣路走向，避免與水電管線沖突，預(yù)留檢修空間。
2. 技術(shù)交底與圖紙確認(rèn)
- 設(shè)計團(tuán)隊與施工方、甲方溝通方案細(xì)節(jié)，明確材料標(biāo)準(zhǔn)（如不銹鋼管材規(guī)格、閥門型號）、焊接工藝要求。
- 確認(rèn)施工圖紙中的管道坡度、支架位置、氣體終端點位等關(guān)鍵參數(shù)。
二、材料與設(shè)備準(zhǔn)備
- 核心材料采購：根據(jù)設(shè)計要求采購不銹鋼管材（常選316L/304材質(zhì)）、高純氣體閥門、接頭、壓力表、過濾器等，確保材料符合潔凈度或防爆標(biāo)準(zhǔn)（如氫氣路需防爆配件）。
- 設(shè)備調(diào)試：準(zhǔn)備自動焊接機(jī)、切割工具、氣體檢漏儀、壓力測試設(shè)備等，確保工具性能達(dá)標(biāo)。
三、現(xiàn)場施工階段
1. 管道預(yù)制與加工
- 按圖紙切割管材，采用專用工具避免管口毛刺（高純氣路需額外進(jìn)行內(nèi)壁拋光）。
- 對管材進(jìn)行焊接預(yù)處理（如去油污、干燥），復(fù)雜節(jié)點可提前預(yù)制組件。
2. 管道安裝
- 按規(guī)劃鋪設(shè)主管道與分支管道，使用支架固定確保垂直度與坡度（如氣體管道坡度≥0.3%，防止冷凝水積聚）。
- 易燃易爆氣體管道需單獨鋪設(shè)，與其他管線保持安全距離，并做接地處理。
3. 附件與終端安裝
- 安裝閥門、壓力表、流量計等控制元件，確保連接緊密；在實驗臺或設(shè)備端安裝氣體終端接口，標(biāo)注氣體類型及壓力范圍。
四、焊接與密封處理
- 焊接工藝：采用自動氬弧焊（TIG焊）保證焊縫均勻，避免氣孔、裂紋（高純氣路需充氬氣保護(hù)焊接，防止氧化）。
- 密封檢測：焊接后對接口進(jìn)行初步目視檢查，并用密封膠或生料帶處理螺紋連接處（禁用于氧氣等助燃?xì)怏w，避免燃爆風(fēng)險）。
半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測試，芯片封裝和封裝后測試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對Wafer劃片槽（ScribeLine）測試鍵（TestKey）的測試，通過電性參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，blLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測廠的依據(jù)，測試方法是用ProbeCard扎在TestKey的blPad上，ProbeCard另一端接在WAT測試機(jī)臺上，由WATRecipe自動控制測試位置和內(nèi)容，測完某條TestKey后，ProbeCard會自動移到下一條TestKey，直到整片Wafer測試完成。
五、系統(tǒng)檢測與調(diào)試
1. 壓力測試
- 向管道內(nèi)充入干燥氮氣或壓縮空氣，逐步升壓至設(shè)計壓力的1.15-1.5倍，保壓30分鐘以上，觀察壓力降是否符合標(biāo)準(zhǔn)（通常≤0.5%）。
2. 泄漏檢測
- 使用氦質(zhì)譜檢漏儀或肥皂泡法檢查所有接口，泄漏率需≤1×10?? Pa·m3/s（高純氣路要求更高）。
3. 氣體純度測試
- 對輸送特種氣體的管道，需檢測內(nèi)壁潔凈度（如顆粒度、含氧量），確保氣體純度達(dá)標(biāo)（如電子級氣體純度≥99.999%）。
4. 功能調(diào)試
- 調(diào)試減壓閥、流量計等元件，確保氣體壓力、流量穩(wěn)定可控，終端輸出符合使用需求。
六、驗收與交付
- 文件歸檔：提交施工圖紙、材料合格證、檢測報告（壓力測試、泄漏檢測記錄）等資料。
- 甲方驗收：現(xiàn)場演示氣路系統(tǒng)運行狀態(tài)，確認(rèn)無泄漏、參數(shù)穩(wěn)定后簽署驗收報告。
- 培訓(xùn)與維護(hù)：為使用方提供操作培訓(xùn)，說明日常維護(hù)要點（如定期檢漏、更換過濾器）。
七、后期維護(hù)與優(yōu)化
- 定期對氣路系統(tǒng)進(jìn)行巡檢，重點檢查老化部件或腐蝕情況，對高純氣路可安排定期清洗或鈍化處理，確保長期穩(wěn)定運行。
整個流程需嚴(yán)格遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如GB 50235工業(yè)管道施工規(guī)范、ISO氣體管道設(shè)計規(guī)范），尤其注重安全性與潔凈度控制，避免因施工疏漏導(dǎo)致氣體泄漏、污染等風(fēng)險。
[智能標(biāo)題] 遼陽太子河制藥實驗室氣路系統(tǒng)優(yōu)化與安全升級研究
