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FS1015CL系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。測(cè)量范圍到150SLPM，ISO15mm連接方式適用于呼吸機(jī)、麻醉機(jī)等多種醫(yī)療設(shè)備。

一、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS1015系列主要特性：
1）傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
3）在單個(gè)芯片上集成了多個(gè)傳感器，使傳感器的量程比大大提高
4）傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
5）全量程高穩(wěn)定性
6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
7）低功耗 ＜100 mW
8）低壓損 ＜1300 Pa
9）響應(yīng)時(shí)間快 8 msec 
二、氣體質(zhì)量流量傳感器-FS1015系列典型應(yīng)用： 
適用于電氣體質(zhì)量流量的測(cè)量。

一、美國(guó)Siargo微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器  FS1015CL系列產(chǎn)品描述：

FS1015CL系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。

二、美國(guó)Siargo微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器  FS1015CL系列產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 專為呼吸機(jī)和麻醉機(jī)的流量計(jì)量需求而設(shè)計(jì) 

• 高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理可測(cè)量低至8mm/sec的流體流量 

• 無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損 

• 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高

• 經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用

• 自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計(jì)提高了測(cè)量精度 

• 主機(jī)設(shè)備上的用戶界面可輕松實(shí)現(xiàn)線性輸出

三、美國(guó)Siargo微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器  FS1015CL系列機(jī)械圖：

四、美國(guó)Siargo微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器  FS1015CL系列技術(shù)參數(shù)：